En el proceso de fabricación de chips semiconductores, la sonda puede probar el rendimiento del chip; En el laboratorio de investigación y desarrollo de nuevos materiales, la sonda entra en contacto nanométrico con la superficie de la muestra para desbloquear las propiedades eléctricas y ópticas del material; En la Sala de investigación biológica, las sondas están penetrando en las células con movimientos extremadamente rápidos y sutiles. Detrás de estas operaciones de precisión, no se puede prescindir de un equipo central.- - Mesa de sonda.

uno、Mesa de sonda

Estaciones de prueba en el microcosmos

Como equipo clave para las pruebas y maniobras modernas de micro y nano, la Plataforma de sonda es ampliamente utilizada en pruebas de semiconductores, investigación de materiales, biomedicina y otros campos. Es como una mesa de operaciones en un mundo microscópico, lo que permite a los investigadores operar y medir con precisión nanomateriales, células e incluso moléculas individuales.

En pocas palabras, la tarea central de la Mesa de sonda es lograr una alineación precisa y un contacto estable entre la sonda y la muestra a escala nanométrica a micra, y cooperar con el instrumento de prueba para completar la detección de la fuerza, la electricidad, la luz y otras propiedades. Ya sea la detección de rendimiento de los chips en la industria de semiconductores, el análisis de las características de los nuevos materiales o la calibración de los parámetros de los dispositivos fotoeléctricos, la Mesa de sonda es un puente de conexión importante, que construye un canal entre el equipo de prueba macro y las muestras microscópicas, y su precisión también determina directamente la fiabilidad de los datos de prueba.

El principio central de la Mesa de sonda es impulsar la sonda o muestra para realizar un movimiento multidimensional libre y un ajuste de ángulo a través de una estructura mecánica precisa y tecnología de control, asegurando que la sonda puede caer con precisión en el punto de prueba de la muestra, manteniendo una fuerza de contacto estable y evitando aplastar la muestra o un contacto deficiente.

Nanosonda

Las principales industrias y escenarios de aplicación de la Plataforma de sonda:

1. industria de semiconductores:Pruebas de rendimiento eléctrico de circuitos integrados, pruebas de obleas y pruebas después del encapsulamiento.

2. industria fotoeléctrica:Prueba de componentes fotoeléctricos, comoLED、 Rendimiento de fotodetectores y láseres.

3. ciencia de los materiales:Caracterizar la morfología microscópica de la superficie del material, como defectos superficiales, tamaño de grano, etc.; Estudiar y probar las propiedades eléctricas, magnéticas y ópticas de los materiales a diferentes temperaturas, así como la estabilidad y fiabilidad de los materiales de prueba.

4. biomedicina:Estudiar la biocompatibilidad de la superficie de los materiales biológicos; Imágenes de alta resolución de biomoléculas, células y tejidos, análisis y desarrollo de biosensores, etc.

dos、¿¿ por qué la nanotecnología piezoeléctrica?

¿¿ convertirse gradualmente en la demanda central de la Mesa de sonda?

Basado en el escenario de aplicación de la Plataforma de sonda, ya sea la prueba de chips en la industria de semiconductores o los experimentos celulares en el campo de la investigación biológica, estos campos de alta precisión dependen esencialmente de la precisión límite de la tecnología de posicionamiento y control de la Plataforma de sonda. Cuando los requisitos de precisión de operación alcanzan el nivel nanométrico o incluso el nivel nanométrico, los métodos tradicionales de conducción mecánica ya son difíciles de satisfacer la demanda, las posibles brechas mecánicas pueden causar errores, la velocidad de respuesta demasiado lenta no puede adaptarse a las pruebas de alta frecuencia, y la falta de estabilidad afectará la repetibilidad de los datos.

En este momento, la tecnología de posicionamiento y control nanométrico piezoeléctrico se ha convertido en la clave para romper la situación: sobre la base del efecto piezoeléctrico, a través del efecto piezoeléctrico inverso del material piezoeléctrico, se puede lograr el control de desplazamiento, el ajuste de ángulo y la respuesta dinámica a nivel nanométrico o incluso subnanométrico, que se ajusta al par de la Mesa de sonda.Las necesidades centrales de "alta precisión, alta estabilidad y respuesta rápida".

Las ventajas centrales de la nanotecnología piezoeléctrica:

· resolución A nivel nanométrico:Es necesario lograr una precisión de movimiento de nanómetros y menos

· estabilidad súper alta:Evitar el impacto de la vibración en el funcionamiento de precisión

· respuesta rápida:Velocidad de respuesta a nivel de milisegundos para adaptarse a las pruebas dinámicas

· compatibilidad al vacío:AdaptaciónEntornos de alto vacío para microdispositivos como el SEM

· colaboración multieje:Se puede lograr un control de ángulo multidimensional y complejo.

3. la Plataforma de nanosonda piezoeléctrica muestra sus habilidades

1,Mesa de nanosonda piezoeléctrica de quince dimensiones: proceso colaborativo de tecnología piezoeléctrica de alta precisión

La Plataforma de sonda nanométrica piezoeléctrica del núcleo mañana consta de una plataforma de posicionamiento nanométrico piezoeléctrica, una plataforma de desplazamiento del motor piezoeléctrico, un localizador de lente piezoeléctrica y componentes estructurales. La Plataforma de posicionamiento nanométrico piezoeléctrica, como plataforma de carga de muestras, puede lograr un ajuste de oscilación de alta precisión bidimensional; DeCuatro grupos de sondas controladas por separado por las mesas de desplazamiento del Motor piezoeléctrico pueden lograr un movimiento de precisión nanométrica en el espacio tridimensional xyz; El localizador de la lente piezoeléctrica realiza un ajuste de enfoque a nivel nanométrico en la dirección del eje Z controlando con precisión la lente, logrando así una observación microscópica de alta resolución.

1) Mesa de muestras

La Plataforma de posicionamiento nanométrico piezoeléctrico puede realizar una plataforma piezoeléctrica con movimiento de precisión de un solo eje o incluso de varios ejes, cuyo rango de movimiento puede alcanzar el nivel milimétrico, con las características de pequeño tamaño, sin fricción y velocidad de respuesta rápida, equipada con sensores de alta precisión, que pueden lograr una resolución y precisión de posicionamiento a nivel nanométrico; Las características de diseño de alta rigidez y brecha cero garantizan la estabilidad y repetibilidad del sistema en funcionamiento y son una plataforma confiable para llevar muestras.

2) Mesa de sonda

La Mesa de desplazamiento del Motor piezoeléctrico está hecha de cerámica piezoeléctrica como motor de accionamiento, utilizando un diseño de estructura mecánica especial para convertir el microdesplazamiento lineal producido por la cerámica piezoeléctrica en un movimiento macrolineal (o angular) del plano mecánico, con un recorrido de decenas de milímetros (o360 °). Las características de posicionamiento repetido a nivel nanométrico le permiten lograr un posicionamiento de alta precisión de la sonda. En respuesta a la demanda de la sonda para el control de la fuerza de la muestra, la Plataforma de desplazamiento del Motor piezoeléctrico del núcleo mañana proporciona un control de movimiento a nivel nanométrico y una salida precisa de fuerza, proporcionando una navegación de posicionamiento precisa para el Movimiento de la sonda.

3) enfoque microscópico

Al operar una muestra microscópica como una célula biológica, es necesario mantener la claridad de la observación de la muestra y la precisión de la operación de la sonda al mismo tiempo. el localizador de la lente piezoeléctrica del núcleo está diseñado especialmente para el microscopio de enfoque de la lente. está diseñado con un mecanismo de Guía paralelo con bisagras flexibles sin retorno. La compensación de la lente es pequeña y tiene una estabilidad de enfoque súper alta. el localizador de la lente se carga en la detección microscópica./ dispositivo de medición o observación, que puede llevar el foco del espejo animal para mejorar la precisión, se puede utilizar con una variedad de microscopios de alta resolución, lo que puede lograr el posicionamiento colaborativo a nivel nanométrico de la muestra y el sistema óptico.

La Mesa de sonda mostrada en la imagen integra varios productos piezoeléctricos del núcleo mañana, y su configuración central incluye:S54 Plataforma de balanceo bidimensional, que puede personalizar los parámetros de manera flexible de acuerdo con las necesidades reales; La Plataforma de desplazamiento del Motor lineal de la serie n56 tiene un rico rango opcional de recorrido, con un recorrido máximo de más de 50 mm; Localizador de lente piezoeléctrica, opcional en varios viajes, con una resolución máxima de 2,5 nm.

2. Mesa de nanosonda piezoeléctrica de diecinueve dimensiones: integración de Operaciones de micro y Nano

La Plataforma de nanosonda piezoeléctrica Core Tomorrow es una plataforma de nanosonda que integra una plataforma de nanolocalización piezoeléctrica y un módulo de nanosonda basado en una plataforma de desplazamiento de motor piezoeléctrico, que se puede combinar con un microscopio electrónico de barrido (sem).SEM）、 La microscopía electrónica de transmisión (tem) y otros microscopios electrónicos cooperan para realizar nanooperaciones. La Mesa de muestra central puede realizar el movimiento triaxial de xyz, y cuatro grupos de módulos de nanosonda pueden realizar el Movimiento de rotación lineal tridimensional de XYZ y el eje R. Los parámetros de tamaño exterior, eje de movimiento, recorrido y velocidad de la Mesa de nanosonda se pueden personalizar.