En los campos de las comunicaciones láser, los enlaces ópticos satelitales y la litografía de semiconductores, el desplazamiento milimétrico del haz de luz puede causar una disminución del rendimiento del sistema. Como productor nacional de tecnología de nanoposicionamiento piezoeléctrico, la serie de espejos de desviación piezoeléctricos lanzada por Core Tomorrow Technology co., Ltd.“Precisión del nivel de nanoarco, respuesta del nivel de milisegundos, adaptabilidad ambiental extrema",Las tres ventajas centrales se han convertido en la solución al problema del control de haces de luz de alta precisión.“Arma técnica",.

I. precisión de posicionamiento a nivel de nanoarco: romper los límites del control óptico

El espejo de desviación piezoeléctrico del núcleo mañana se basa en el efecto piezoeléctrico inverso de la cerámica piezoeléctrica y logra una desviación precisa sin fricción y con diferencia cero a través de una estructura de guía paralela de bisagras flexibles. Su ventaja central radica en la resolución del nivel de arco submicro.- -por ejemploP33La serie se puede lograr0,02 μrad(aproximadamente0.004Precisión de posicionamiento (segundos angulares), equivalente a1El error del punto de aterrizaje del haz de control en la distancia del kilómetro no supera2Mm. Este nivel de precisión lo convierte en el espacio - tierra en las comunicaciones láser por satélite./.Dispositivo central de puntería fina de enlaces interestelares: en“El viento y la nube3númeroEEstrella",En proyectos como este, la tecnología garantiza el control de dirección de la señal óptica a nivel de subarco en decenas de miles de kilómetros de transmisión, proporcionando un camino óptico estable para la transmisión de datos de alta velocidad.

En el campo de la litografía de semiconductores, la litografía ultravioleta extrema..EUV) el proceso es casi exigente con la estabilidad del camino óptico. Con la capacidad de control del nivel de nanoarco, el espejo de desviación piezoeléctrico del núcleo mañana puede corregir con precisión la desviación del Camino óptico entre la máscara y la silicio y controlar la tasa de distorsión del patrón del chip al nivel nanométrico. Los datos de las pruebas de la Universidad Tecnológica de Harbin muestran que su error de repetibilidad de posicionamiento en circuito cerrado es inferior al0,05 μradSupera con creces la precisión del nivel de microarco del espejo vibrante tradicional.

2. respuesta dinámica a nivel de milisegundos: capacidad de compensación más rápida que la velocidad de la luz

Frente a interferencias dinámicas como la vibración orbital del satélite y la perturbación de la actitud de la plataforma, el espejo de desviación piezoeléctrica del núcleo muestra una velocidad de respuesta de milisegundos mañana. aS37La serie, por ejemplo, tiene un tiempo de respuesta escalonado de solo0,8 ms, con carga200 gramosTodavía se puede mantener la lente15 msLa desviación del viaje completo se completa en el Interior. Este rendimiento le permite compensar el temblor del haz causado por la vibración espacial en tiempo real en la comunicación láser por satélite y garantizar la estabilidad del enlace de comunicación.

En el campo del procesamiento láser, esta tecnología resuelve el problema de la precisión del procesamiento microporoso. El dispositivo Core Tomorrow puede controlar el error de apertura en± 1 μmDentro, la precisión de la distancia entre agujeros alcanza± 5 μmSe ha aplicado con éxito al mecanizado en forma especial del agujero de película de aire de la hoja de la turbina del aeromotor.

III. adaptabilidad ambiental extrema: garantía confiable a nivel espacial

En respuesta a las necesidades de las aplicaciones espaciales, el núcleo desarrolló mañana una versión al vacío y a baja temperatura del espejo de desviación piezoeléctrico. Adopta un proceso de encapsulamiento especial y componentes de clase aeroespacial, que se pueden encontrar en-40℃A+85℃Rango de temperatura, vacío10⁻⁶PaTrabajar de manera estable en un entorno. En“Kuafu No. 1",En el proyecto de satélite, el equipo resistió la prueba de la fuerte radiación espacial y el ciclo térmico, y funcionó continuamente.2No hay atenuación de rendimiento anual.

Los productos industriales también tienen alta fiabilidad. A través del diseño de refuerzo sísmico y el control de circuito cerrado completo,S37.T8La serie está en10 gramosSe puede mantener bajo el impacto de la vibración.13,5 gradosLa precisión del nivel de nanoarco durante el viaje de desviación ha pasado el estándar de prueba de vibración del método de prueba ambiental de equipos militares.

IV. diseño modular: una conexión perfecta desde el laboratorio hasta la industrialización

El núcleo ofrece cobertura mañana0,5 gradosA20mradGama de productos con rango de desviación y soporte para la personalización del método de instalación de la lente (pegado)/.Agarre mecánico/.Asiento de sombrero personalizado). SuE70El controlador piezoeléctrico de la serie se puede integrar5Control de equipos, ancho de banda alcanzado10 kHz, apoyoCAN / EtherCATComunicación en autobús. Para las limitaciones de espacio de los equipos de litografía de semiconductores,XD801-D1La Plataforma de seis ejes toma150 μmDesplazamiento y2mradLa capacidad de desviación realiza la integración compacta del Camino óptico interno de la fotolitografía.

Desde el laboratorio hasta el sitio industrial, el espejo de desviación piezoeléctrico del núcleo se está moviendo mañana.“Mayor precisión, mayor velocidad y entorno más estable",Sus características técnicas han promovido avances en las comunicaciones láser, la fabricación de precisión, la exploración espacial y otros campos. Como dice:“El control de cada nanoarco es un desafío a los límites de la tecnología.",En esta carrera de control óptico de precisión, el núcleo ha tomado la delantera mañana.