El 4 de septiembre de 2025, se celebró solemnemente en el Centro Internacional de exposiciones Wuxi Taihu la 13ª exposición de materiales y componentes básicos de equipos semiconductores, que atrajo mucha atención. Con el tema "fortalecer el núcleo chino y abrazar el mundo del núcleo", esta reunión anual de equipos semiconductores reúne a fabricantes de equipos semiconductores, empresas de fabricación de sensores y empresas aguas arriba y aguas abajo de la cadena industrial, expertos y académicos de institutos de investigación científica para compartir los últimos resultados de investigación científica y casos prácticos de aplicación, y explorar conjuntamente cómo empoderar la modernización industrial a través de la innovación tecnológica.



Los instrumentos de detección como el contador de partículas de polvo kanomax, el anemómetro térmico, el transmisor de velocidad del viento y el manómetro microdiferencial aparecieron en el stand B3 - 328.









Frente al stand, el personal de I + D de la empresa de materiales semiconductores y el jefe técnico de la fábrica FAB se detuvieron para consultar uno tras otro, y el personal de jiano presentó pacientemente y meticulosamente las características de rendimiento y los escenarios de aplicación del instrumento, y realizó demostraciones de productos en el lugar, para que todos pudieran sentir intuitivamente La excelencia del producto.





Aplicación del contador de partículas en el entorno de fabricación de semiconductores
En el proceso de fabricación de chips semiconductores, los requisitos de limpieza del entorno de producción son altos, se deben prohibir los cortocircuitos o cortes de cristales causados por partículas de polvo, desviaciones del proceso y otros factores, y se debe controlar la cantidad de partículas súper pequeñas en el sitio de trabajo en el entorno de purificación para garantizar la calidad del producto y mejorar el rendimiento del producto.



En el proceso de producción de chips semiconductores, los contadores de partículas se utilizan principalmente en:
1. detección del proceso de fabricación de la fábrica fab: en muchos enlaces del proceso, como fotolitografía, desarrollo de recubrimientos y grabado de obleas, se utilizan contadores de partículas para detectar partículas de polvo en el medio ambiente para garantizar la precisión del proceso.
2. proceso de encapsulamiento: en el proceso de corte y encapsulamiento de obleas, los contadores de partículas también juegan un papel clave para garantizar la calidad del encapsulamiento.
3. monitoreo de calidad del proceso de producción de equipos semiconductores: monitorear los puntos de proceso del equipo a través de Contadores de partículas para garantizar la estabilidad del proceso de producción y la calidad del producto.



El contador de partículas de polvo súper pequeño 3950, especialmente diseñado para el entorno de fabricación de chips semiconductores, puede monitorear con precisión las partículas pequeñas de 0,1 micras y 0,3 micras, y tiene la ventaja de ser ligero y pequeño, y también puede servir como sensor integrado en el sitio de operación de monitoreo en tiempo real del equipo de producción, proporcionando una base confiable para la evaluación de la limpieza del entorno de operación limpio. Con una tecnología de detección precisa de nivel 0,1 micras, se construye una línea de defensa de calidad para cada enlace microscópico fabricado por el "núcleo chino".




Aplicación del anemómetro en el entorno de fabricación de semiconductores
En la fabricación de semiconductores, la velocidad del viento ambiental (velocidad del viento local en la Sala limpia y el interior del equipo) afecta directamente la precisión del proceso, la tasa de rendimiento y la fiabilidad del producto. Una velocidad razonable del viento puede formar un "campo laminar / turbulento" estable, llevando partículas (como residuos fotorresistentes, subproductos de grabado, polvo de corte) para evitar defectos causados por su adhesión a la superficie de la obleas;
Al mismo tiempo, las anomalías de la velocidad del viento (demasiado alta / demasiado baja / desigual) pueden causar directamente pérdidas de rendimiento. Por ejemplo, la fluctuación del 5% de la velocidad del viento en el enlace de litografía puede causar una desviación del ancho de línea de 0,03 micras (el valor permitido de la desviación del ancho de línea del proceso de 7 nm es de solo 0,02 micras), lo que puede causar directamente el fallo del chip.



Los equipos de desarrollo fotorresistente requieren una mayor limpieza del entorno de producción, especialmente durante el recubrimiento y desarrollo fotorresistente, la contaminación de partículas pequeñas puede causar defectos en el patrón fotorresistente y afectar el rendimiento del chip. Es necesario proporcionar aire limpio a través de filtros de alta eficiencia de la unidad de filtro de ventilador (ffu), como HEPA o ulpa, para eliminar eficazmente las partículas en el medio ambiente y garantizar que la superficie de la obleas no esté contaminada, mejorando así la precisión y el rendimiento del patrón fotolitográfico.



El probador ambiental kanomax 65ser puede capturar con precisión los cambios en la velocidad del viento en la Sala limpia y el interior del equipo, ya sea pequeñas fluctuaciones de la velocidad del viento o diferencias de velocidad del viento en áreas locales, mientras mide la velocidad del viento, la temperatura, la humedad, la presión, la forma y el tamaño de la sección transversal de la tubería de entrada para calcular la cantidad de viento. ocho sondas están disponibles para elegir. con sus características de alta precisión, intercambiabilidad de sondas, estabilidad, facilidad de operación y visualización de medición multiparametro, se utiliza ampliamente en la industria de equipos de fabricación de semiconductores.



Kanomax ha cultivado profundamente en el campo de la tecnología limpia de semiconductores durante muchos años y se ha ganado la confianza y el reconocimiento de muchos clientes. La compañía continuará aumentando la inversión en I + d, lanzará constantemente nuevos productos y tecnologías competitivas, satisfará las necesidades cambiantes y actualizadas del mercado y hará mayores contribuciones para promover el desarrollo y el progreso de la industria de semiconductores.
¡¡ gracias por visitar e intercambiar en el stand de kanomax en kano, mañana continuará maravillosamente, vamos a presenciar conjuntamente el nuevo viaje de desarrollo de la industria de semiconductores!