Brooke(usuarios)Perfilador óptico（Interferómetro de luz blanca(...)Introducción de productos y aplicaciones

I,Introducción a la línea de productos:

Brooke(usuarios)Es un esquema de medición y detección de superficie tridimensional, que proporciona un esquema de caracterización de contorno tridimensional rápido, confiable y fácil de usar. La muestra es tan pequeña como bajo el campo de visión microscópica.MEMSEstructura, tan grande como un motor mecánico completo. Estos programas proporcionan a los investigadores e ingenieros de I + d, fabricación y control de calidad la sensibilidad y estabilidad de la industria. Este es el desafío que enfrentan otros métodos de medición en la aplicación de mediciones de superficie tridimensionales finas.

El perfilador óptico de Brooke se basa enWyko ®La tecnología central propietaria, acumulada durante diez generaciones, proporciona una alta precisión y estabilidad inalcanzables para otros sistemas de medición. Hoy en día, estos se están convirtiendo en los principales escenarios de aplicación para la medición tridimensional de superficies de precisión. Nuestras herramientas de medición han demostrado ser compatibles con la investigación y el descubrimiento en el entorno de laboratorio y producción.，Los equipos son ampliamente utilizados en semiconductores, óptica y otras industrias..

El perfilador óptico de Brooke incluye los siguientes modelos: la serie de escritoriosEl ContourX-100,El X-200,El X-500, serie de aterrizajeEl ContourX-1000,NPFLEX-1000, y especialmente paraPCBDiseño de panelesContourSP, así como para el análisis de superficies en el campo del almacenamiento de datosHD9800+.

En segundo lugar,Funciones:

El perfilador óptico tridimensional de BrookeSin contacto, alta precisión y alta adaptabilidad，Puede proporcionar investigación y desarrollo, control de calidad y producción en línea desde la micro MEMSEstructura a pieza completa300 mmSoluciones de medición de superficie tridimensional para obleas e incluso piezas de mayor tamaño. Las principales funciones se enumeran a continuación.

1,Medición de alta precisión de la morfología de la superficie:< 0,01 nmLa resolución de la superficie,Menos del 0,1%Los escalones son altamente repetitivos.

2,Resultados trazables que cumplen con los estándares: el perfilador óptico tridimensional brooke, como equipo de medición, mide la altura con extrema precisión.

3,Modo de medición universal: identificar automáticamente la textura de la superficie y optimizar la señal, teniendo en cuenta la precisión nanométrica y la altura de los grandes escalones.

4,EliteImágenes mejoradas: proporciona alta fidelidad manteniendo la precisión de la medición2DImágenes ópticas.

5,Inclinación/.Cabeza óptica de inclinación: un modelo específico realiza que la posición de medición y enfoque no cambie cuando la cabeza lateral se inclina, lo que mejora en gran medida la eficiencia de la prueba y la conveniencia de uso.

6,Software de análisis eficiente: miles de filtros preestablecidos y guiones de análisis, salida con un solo clicnorma ISO25178,Normas ASME B46.1Y otros parámetros estándar prescritos.

7,Procesamiento automático por lotes: enfoque automático, iluminación automática, importación de archivos de coordenadas, reconocimiento de patrones yESDProtección para lograr la medición por lotes "con un solo clic".

8,Modo de medición del espesor de la película: calcular el espesor de la película midiendo la señal reflejada en la superficie superior e inferior de la película transparente.

En tercer lugar,Introducción a la aplicación:

1,Mecanizado de precisiónSistema de medición de nivel de medición, que mide con precisión y eficiencia la calidad de la superficie de mecanizado de precisión o el tamaño tridimensional del patrón de mecanizado micro y nano, proporciona retroalimentación e informes suficientes para el monitoreo, seguimiento y evaluación del proceso, y mejora en gran medida la eficiencia del desarrollo del proceso.

2,Sistemas y sensores micromecánicos: proporciona mediciones de profundidad de grabado, espesor de película, altura de paso y rugosidad de la superficie de alto rendimiento y alta repetibilidad, proporcionando una garantía precisa y eficiente para el monitoreo del proceso.

3,****: medición precisa y repetible de todo tipo de superficies de * * * *, como materiales y componentes implantados, para proporcionar garantía de calidad.

4,Fricción y desgaste: medición cuantitativa de la cantidad de desgaste por volumen, análisis y evaluación precisos de la fricción, el desgaste, la lubricación y la corrosión de los materiales/.Efectos sobre el rendimiento y la vida útil de los componentes.

5,Semiconductores: medir la rugosidad y la planitud; Altura de la protuberancia, coplanaridad e identificación y análisis de defectos; Y la medición de dimensiones tridimensionales clave de varias líneas, agujeros, películas y otras estructuras. Por ejemplo, * volver a cableado en el campo de la encapsulación..RDL), perforación de silicio apilado tridimensional..TSV) y el monitoreo de tamaño tridimensional de procesos como la placa portadora.

6. Óptica: medir con precisión y repetibilidad los materiales ópticos y las superficies de los componentes, evaluar cuantitativamente los defectos y ayudar a optimizar el proceso de procesamiento. Por ejemplo, todo tipo de monitoreo de la calidad de la superficie de planos ópticos y superficies curvas, así como la medición automática de estructuras ópticas micro - nanométricas (período, profundidad, etc.) y conjuntos de microlentes (diámetro, curvatura, vector, etc.).