La tecnología de interferometría láser tiene las ventajas de alta sensibilidad, gran rango de medición y adaptabilidad a entornos hostiles. las ondas de luz pueden definir directamente el metro y rastrear fácilmente la Fuente. La regla láser de fibra óptica de la serie plr3000, autodesarrollada por el instrumento zhongtu, se basa en el principio de medición de interferencia láser y es un equipo avanzado de detección de posición de alta densidad de precisión, alta sensibilidad, alta eficiencia y rapidez. tiene ventajas en el campo de la medición de alta precisión sin contacto. en comparación con la regla tradicional de banda de acero o rejilla de vidrio, tiene una distancia de cadena más precisa y una mayor resolución. al mismo tiempo, su diseño de aislamiento de fuente de calor garantiza una mayor estabilidad. al mismo tiempo, tiene las características de instalación rápida y fácil alineación. es ampliamente utilizado en microelectrónica, micromecánica, microelectrónica y otros campos modernos de procesamiento y fabricación de ultraprecisión, Fotolitografía y alta tecnología aeroespacial.

Composición de la regla láser de fibra óptica

La regla láser de fibra óptica consta de un emisor láser, una sonda de medición de interferencia, un espejo y otras partes.

1. lanzador láser

El lanzador láser tiene una fuente de luz láser he - ne de alta estabilidad incorporada, con una precisión de Estabilización de frecuencia de 0,05 ppm (opcional 0,02 ppm). El láser se conduce a la sonda de medición de interferencia a través de una fibra óptica blindada para lograr el aislamiento de la fuente de calor de la sonda de medición. El lanzador láser tiene un sistema de procesamiento de señales de alta precisión incorporado, que puede exportar directamente la señal ortogonal digital rs422 en tiempo real y la señal analógica ortogonal con una resolución configurable por el usuario, y también se puede desarrollar por segunda vez a través de usb - sdk.

2. sonda de medición de interferencia

2.1. sonda de interferencia diferencial (di)

La sonda de interferencia diferencial emite dos haces de láser (luz de referencia y luz de medición), que se reflejan a través de un espejo plano fijo y un espejo plano móvil, respectivamente, para lograr una cuarta duplicación óptica, con una mayor resolución del sistema y un menor error no lineal. Especialmente adecuado para medir el movimiento relativo entre la columna del eje Z y la Plataforma de movimiento, eliminando los errores causados por la deriva térmica de la pared interior y la vibración / Movimiento de la columna, es una opción de esquema de precisión a nivel nanométrico.

2.2. sonda de interferencia de espejo plano (pi)

La sonda de interferencia del espejo plano utiliza un sistema de interferencia de doble trayectoria óptica, combinado con el espejo plano, para lograr una cuarta duplicación óptica, con una mayor resolución del sistema, utilizando un sistema de doble eje, con un espejo plano de tiras largas, especialmente adecuado para aplicaciones de control de movimiento y medición de la Plataforma xy. Se proporcionan dos configuraciones de salida de luz de 0 ° y 90 °.

2.3. sonda de interferencia prismática piramidal (ri)

La sonda de interferencia Prism a piramidal, fácil de instalar y alta precisión, es adecuada para la medición lineal de un solo eje o retroalimentación de posición, la distancia de medición es de 10 metros, se puede personalizar 40 metros, y se utiliza ampliamente en el posicionamiento de movimiento y la calibración del equipo. Se proporcionan dos configuraciones de salida de luz de 0 ° y 90 °.

Características técnicas de la regla láser de fibra óptica

1. medición de alta precisión: la precisión de medición lineal puede alcanzar 0,5 ppm;

2. alta precisión de Estabilización de frecuencia láser: estabilidad de frecuencia láser de 0,05 ppm (opcional 0,02 ppm)

3. alta resolución: resolución inherente de hasta 10 nm, se pueden configurar diferentes resoluciones, se puede ampliar aún más la Subdivisión y lograr una mayor resolución.

4. medición de alta velocidad: la velocidad máxima de medición puede alcanzar más de 2000mm / s;

5. longitud del rango de medición: el rango de medición puede alcanzar más de 4m, se pueden personalizar 40 metros;

6. instalación simple y fácil de alinear: pequeño tamaño, instalación flexible, puede reducir considerablemente el error de abe; La sonda de interferencia está equipada con un dispositivo de ajuste de ángulo para lograr fácilmente la colisión del haz de luz;

7. aislamiento de la fuente de calor del Camino óptico de medición: el dispositivo emisor láser está separado de la sonda de medición, y la sonda no tiene fuente de calor, lo que puede evitar el impacto de la disipación de calor del motor principal en el camino de medición;

8. salida multicanal: se pueden conectar hasta tres sondas al mismo tiempo para realizar fácilmente la medición simultánea de múltiples ejes y la medición de múltiples grados de libertad;

9. las interfaces de salida son diversas: la interfaz de salida del host incluye una interfaz USB y una interfaz de salida de posición, y la interfaz de salida de posición tiene un ttl diferencial (rs - 422 / EIA - 422), señal de coseno positivo (sincos1vpp), usb - sdk.

Verificación de la aplicación de la regla láser de fibra óptica

La regla láser de fibra óptica de la serie plr3000 ha sido verificada en varios clientes: la sonda de interferencia diferencial (di) se utiliza para controlar en circuito cerrado la Plataforma de desplazamiento nanométrico de alta precisión, y la precisión de control de posición nanométrica se realiza en cualquier posición dentro del viaje de 10 mm.