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Breve Introducción

Serie NS de instrumentos de zhongtuMedidor de espesor de película escalonada de recubrimientoEs un instrumento de medición de perfil microscópico de contacto de ultraprecisión, cuya precisa plataforma xy, combinada con una mesa giratoria eléctrica giratoria continua de 360 °, puede ajustar la posición y el ángulo de la muestra, y la posición tridimensional se puede ajustar, lo que favorece el ajuste de la muestra. Se utiliza principalmente para medir parámetros de morfología microscópica como la altura del escalón, el espesor de la película y la rugosidad de la superficie.

涂层台阶膜厚仪

Serie NSMedidor de espesor de película escalonada de recubrimientoSe adopta el sensor de capacitor diferencial variable lineal lvdc, que tiene la capacidad de ajustar la fuerza ultramicro y la resolución A nivel yae. al mismo tiempo, integra tecnologías básicas como la adquisición de señales de ruido ultra bajo, el control de movimiento ultrafino y los algoritmos de calibración, lo que hace que el instrumento tenga una precisión de medición súper alta y repetibilidad de la medición.

Características del producto

1. excelente repetibilidad y reproducibilidad para cumplir con los requisitos de precisión de medición de la pieza medida

Sensor de capacitor diferencial variable lineal (lvdc), con resolución de clase yae, puede alcanzar 0,01 Angstroms en el rango de 13 um. La alta relación señal - ruido y el bajo error lineal permiten al producto escanear las características morfológicas de unos pocos nanómetros a cientos de micras de escalones.

2. sensor de fuerza constante de ultramicro: (1 - 50) mg ajustable

La fuerza de medición es constante y ajustable para adaptarse a la superficie de materiales duros o blandos. Diseño de inercia ultra baja y control de fuerza electromagnética pequeña para lograr una medición precisa de contacto de daños sin contacto.

3. Plataforma de escaneo súper plano

El sistema está equipado con una guía de rectitud súper alta para eliminar el temblor sutil en el movimiento, mejorar la precisión de escaneo y reflejar verdaderamente la pequeña morfología de la pieza de trabajo.

4. sistema de navegación óptica de visión superior, Cámara de color de ultra alta resolución 5MP

5. Plataforma de carga automática xy, elevación automática del eje z, mesa giratoria Theta totalmente automática de 360 °.

6. potente sistema de adquisición y análisis de datos

El software de medidor de escalones contiene varios módulos que brindan pleno apoyo para la medición de la altura y el análisis y evaluación de diferentes piezas probadas.

Función del producto

1. función de medición de parámetros

1) altura del escalón: capaz de medir la altura del escalón de nanómetros a 330 micras o 1050 micras, puede medir con precisión el grabado, el chorro, SIMS、 Materiales depositados o eliminados durante los procesos de depósito, recubrimiento rotativo, cmp, etc.

2) rugosidad y ondulación: puede medir la rugosidad y ondulación de la muestra, y el software de análisis puede obtener docenas de parámetros como ra, rms, rv, Rup y RZ relacionados con la rugosidad calculando la curva de contorno microscópico escaneada.

3) medición del estrés: se puede medir el estrés superficial de varios materiales.

2. modo de medición y función de análisis

1) modo de medición de una sola zona: después de completar focus, establezca el punto de partida del escaneo y la longitud del escaneo de acuerdo con el mapa de navegación de la imagen, y puede comenzar la medición.

2) modo de medición multiregional: después de completar focus, se completa la configuración de la ruta de escaneo de una sola región de acuerdo con el mapa de navegación por imágenes, que puede formar un modo de medición multiregional compuesto por varias a decenas de cientos de rutas de escaneo en función de la distancia horizontal y vertical, y se puede completar la medición automática de todas las rutas de escaneo con un solo clic.

3) modo de medición 3d: después de completar focus, se completa la configuración de la ruta de escaneo de una sola región de acuerdo con el mapa de navegación de la imagen, y se puede completar la configuración de toda la región de la superficie de escaneo de acuerdo con el ancho de la región requerida o el espaciamiento y número de líneas de escaneo, y se puede completar automáticamente el escaneo y la reconstrucción de la imagen 3D de toda la región de la superficie de escaneo con un solo clic.

4) análisis estadístico spc: soporte para el análisis de múltiples parámetros indicadores de diferentes tipos de piezas probadas, proporcionando gráficos SPC para los datos de medición de muestras por lotes para estadísticas de tendencias cambiantes.

3. función de imagen óptica de doble navegación

El modelo ns200 - D está equipado con una cámara de color de 500 W píxeles para enfrentar o estrabismar, que puede establecer con precisión la ruta de escaneo en el sistema de imágenes de navegación frontal y seguir la trayectoria de escaneo en tiempo real en el sistema de imágenes de navegación estrabismo.

4. función de cambio rápido de agujas

Se utiliza una aguja de medición de aspiración magnética, cuando se necesita realizar la operación de cambio de aguja, la aguja de medición de escaneo se puede reemplazar rápidamente en el lugar, y la calibración rápida se realiza de acuerdo con el módulo de calibración en el software para garantizar la precisión y repetibilidad después del cambio de aguja y reducir los problemas de mantenimiento.

涂层台阶膜厚仪

Mapa de la apariencia física de la aguja de succión magnética (rango de 330 micras)

Aplicaciones típicas

涂层台阶膜厚仪

Algunos indicadores técnicos

modelo NS200
Observación de muestras Cámara de color de 5 millones de píxeles frente al campo de visión: 2,2 × 1,7 mm
Sensores de sonda Inercia ultra baja, sensor lvdc
Rango móvil de la Plataforma x / y X / y eléctrico (150 mm * 150 mm) (se puede nivelar manualmente)
Longitud de escaneo única 55 mm
Espesor de la muestra 50 mm
Tamaño del círculo de cristal de la Plataforma de carga 200 mm (8 pulgadas)
Alta repetibilidad de los escalones 5 a, con un rango de 330 μm / 10 y un rango de 1 mm (se mide una altura de paso de 1 μm, 1 delta)
Tamaño (l × W × h) mm 630 × 610 × 500
peso 40 kg
Fuente de alimentación del instrumento 100-240 VAC, 50/60 Hz, 200W

Se ruega tener en cuenta que debido a las necesidades de desarrollo del mercado y desarrollo del producto, el contenido relevante de esta información del producto puede actualizarse o modificarse en cualquier momento de acuerdo con la situación real, sin previo aviso, por favor entienda las inconvenientes.