En el campo de la automatización industrial y la fabricación de precisión, la precisión del control de flujo afecta directamente la calidad del producto y la eficiencia de la producción.HjfcSerie de controladores de flujo de masa de alta precisión..MFCCon sus excelentes propiedades técnicas y su amplia aplicabilidad, se ha convertido en el equipo central en escenarios de alto requisito, como la fabricación de semiconductores, la biomedicina y la síntesis química. A continuación, se analizan los valores centrales de esta serie de productos desde las dos dimensiones de las ventajas tecnológicas y los escenarios de aplicación.
I,HjfcVentajas técnicas de la serie de controladores de flujo de masa
Precisión del control de flujo a nivel nanométrico
HjfcLa serie utiliza un sistema microelectromecánico..MEMSSensores y algoritmos de control de circuito cerrado para lograr gas/.El yahao mejora el control preciso del flujo de líquido. Por ejemplo, en el proceso de grabado de semiconductores, su precisión de control puede alcanzar± 0,5%Establecer valores para garantizar la uniformidad de la deposición de películas finas en la superficie de la obleas y mejorar el rendimiento del producto3% - 5%.
Capacidad de respuesta dinámica de amplio rango
Cobertura de la serie0.1SLM-500SLMAmplio rango de tráfico, tiempo de respuesta<100msEn el escenario de control de oxígeno del reactor biológico, se pueden rastrear rápidamente los cambios en la demanda de oxígeno disuelto en el medio de cultivo, evitando la disminución de la actividad celular causada por el retraso en el suministro de gas y mejorando significativamente la eficiencia de la fermentación.
Diseño de compatibilidad multimedios
Para gases corrosivos (por ejemploCl₂,HF) y líquidos especiales (como disolventes fotorresistentes,HjfcLa serie ofrece316LOpciones de materiales como acero inoxidable y aleación de harbin, conPTFEEstructura sellada, asegúrese de estar en-20℃A120℃Funcionamiento estable en el rango de temperatura, llenoExtremo del pieDemanda de condiciones de trabajo.
Función inteligente de autodiagnóstico
El módulo de compensación de presión y temperatura incorporado y el sistema de alerta temprana de fallas pueden monitorear la deriva del sensor, el estancamiento del cuerpo de la válvula y otras anomalías en tiempo real. Cuando se detecta que la desviación del flujo supera el umbral, se cambia automáticamente al Canal de control de repuesto para garantizar la continuidad de la producción.
II. escenarios de aplicación de industrias típicas
Campo de la fabricación de semiconductores
EnPECVDEn el equipo,HjfcLa serie controla con precisión el silano..SiH4) con amoníacoNH₃La proporción de mezcla garantiza que la tasa de depósito de películas de nitruro de silicio se estabilice en± 2%Dentro, se reduce efectivamente el fenómeno de acumulación de bordes de obleas.
Industria biomédica
Control de mezcla de gas para incubadoras celulares, mediante regulación en tiempo realO₂/CO₂Proporción, mantenimiento del entorno de formaciónEl pHEl valor es estable. Los datos de aplicación de una empresa productora de vacunas muestran que el controlador mejora la eficiencia de expansión celular.18%Acortar el ciclo de producción20%.
Investigación y desarrollo de nuevos materiales energéticos
En el proceso de preparación de electrolitos para baterías de iones de litio,HjfcSerie para lograr solventes..CE/DMC) con sal de litioLiPF₆Mezcla precisa de microactualización para controlar las fluctuaciones de la conductividad eléctrica del electrolito en± 1%Dentro, la vida útil del ciclo de la batería se mejora significativamente.
Equipo de Monitoreo Ambiental
Como componente central del muestreador atmosférico, la serie de controladores se puede mantener0.1-5L/minEl caudal constante, incluso en un entorno de fuerte cambio de presión, puede garantizar el error de volumen de muestreo.< 0,3%, paraPM2.5El monitoreo proporciona soporte de datos confiable.
HjfcLa serie logra el control de tráfico a través de la innovación tecnológica.'.Disponible'.a'.Confiable'.El salto, su compensación de toda la zona de temperatura, comunicación multiprotocolo..RS 485 / modbus / ethercat) y otras características están impulsando el desarrollo del control de procesos industriales hacia una mayor precisión e inteligencia.












