09,11,2026 7vistas
En la fabricación de semiconductores, nada es más importante que la precisión. Desde la fabricación de chips hasta el montaje final de los circuitos integrados, cada paso del proceso requiere mediciones precisas para obtener resultados de alta calidad y repetibles. Uno de los parámetros clave que deben medirse es la humedad, ya que el mantenimiento preciso de los niveles correctos de humedad es fundamental para lograr un buen rendimiento del equipo y la calidad del producto final.
Mantener un buen ambiente:
Cuando se realiza una fabricación a escala nanométrica, incluso pequeñas desviaciones pueden tener consecuencias catastróficas. Las condiciones ambientales requieren un monitoreo y mantenimiento precisos, ya que los componentes semiconductores como los chips y las placas de circuito impreso son extremadamente vulnerables a la humedad. De hecho, la humedad es un contaminante que afecta a los procesos de fabricación de semiconductores, y las estimaciones muestran que las pérdidas causadas por condiciones de humedad insatisfactorias representan hasta el 25% de las pérdidas de ingresos.
La humedad excesiva puede causar corrosión, cortocircuitos eléctricos, mala calidad de los componentes y una mayor tasa de falla. La humedad demasiado baja puede causar acumulación de electricidad estática, lo que daña la superficie del Semiconductor y reduce significativamente la producción. Por lo tanto, un control preciso de la humedad es crucial, lo que convierte a los sensores confiables en una inversión indispensable - una inversión inteligente que afecta mucho más que su tamaño o costo. Los sensores y transmisores de alta calidad garantizan que el equipo y el medio ambiente se mantengan dentro de los límites adecuados necesarios para la fabricación de semiconductores.
Soluciones de medición en el proceso de fabricación de semiconductores:
Echemos un vistazo a algunos procesos de fabricación de semiconductores esenciales para la gestión de la humedad y soluciones que pueden ayudar.
Pulido y limpieza de obleas de silicio:
El pulido y la limpieza de obleas de silicio son pasos clave en el proceso de fabricación de semiconductores. El proceso, que implica una alta humedad y productos químicos irritantes, puede provocar la deriva de los sensores y dificultar la medición precisa.
Las sondas utilizadas en este entorno deben soportar altos niveles de humedad y exposición a productos químicos irritantes. Una buena solución es la sonda compacta de temperatura y humedad hmp9, que es una sonda compacta con un tiempo de respuesta muy rápido. Puede soportar altos niveles de humedad y también tiene una función de eliminación química para la limpieza de sensores después de la contaminación. Para los fabricantes de equipos, visala también ofrece productos modulares de temperatura y humedad, como el módulo de humedad relativa y temperatura hmm170, que se pueden integrar en el producto final.
Fotolitografía de obleas, desarrollador de recubrimiento:
La fotolitografía de obleas que recubre y desarrolla obleas de silicio se basa en la tecnología láser, por lo que incluso pequeños cambios ambientales pueden afectar significativamente la calidad del proceso. La presión atmosférica ambiente, la humedad relativa y la temperatura pueden afectar el efecto de litografía y el enfoque de la lente, por lo que deben monitorearse y compensarse en tiempo real. En el proceso nanométrico, la medición y el monitoreo precisos de estos parámetros se vuelven más importantes.
Una buena solución para estos dispositivos es la modular visala indigo520, que ofrece la presión atmosférica como parámetro de medición opcional. La sonda de temperatura y humedad hmp3 es compatible con indigo520 y su estructura permite reemplazar los sensores en el lugar sin herramientas, por lo que es ideal para entornos de Sala limpia. Para los procesos que requieren el monitoreo de otros parámetros como CO2 y puntos de rocío, se pueden usar otros modelos de sondas. Independientemente de cómo elija, la sonda se puede conectar a la unidad de procesamiento de datos (por ejemplo, indigo520), lo que le permite elegir con flexibilidad la combinación adecuada para un proceso específico.
Mesa de corte y sonda de obleas:
El proceso de corte de obleas separa un solo chip de la obleas y requiere una medición precisa de la humedad para proteger el producto y el equipo. La condensación puede ser un problema, especialmente cuando se desprenda la cinta, por lo que es necesario monitorear cuidadosamente el punto de rocío. Durante la prueba de la sonda, el chip sufrirá un cambio de temperatura para probar el rendimiento del circuito integrado. El proceso requiere un control preciso de los puntos de rocío y la humedad para evitar la condensación y el óxido en el entorno de prueba.
Vesala ofrece una variedad de productos compactos para monitorear y controlar estos parámetros. El pequeño transmisor de punto de rocío dmt143 tiene un amplio rango de medición, de - 70 ° C a + 60 ° c, y se puede utilizar para la medición de puntos de congelación y rocío. Otra opción es el transmisor de punto de rocío visala dmt152, optimizado para condiciones de ultrasecado, que ofrece mediciones de punto de congelación de hasta - 80 ° c con un error de + / - 2 ° c. ambos productos tienen una función de calibración automática que garantiza un intervalo de calibración muy largo y es fácil de integrar en aplicaciones oem, como La fabricación de semiconductores o equipos de prueba.
Calidad del gas de la tubería de proceso:
Las salas limpias utilizadas en la fabricación de semiconductores dependen de gases de proceso de alta calidad y no reactivos, como nitrógeno y argón. Garantizar la sequedad de estos gases es fundamental para mantener la pureza del entorno del proceso y evitar la contaminación potencial en las fases de fabricación sensibles. Es necesario monitorear los niveles de humedad en las tuberías de gas del proceso para garantizar resultados de medición precisos. En las tuberías se utilizan tubos de acero inoxidable pulidos, ya que esto ayuda a garantizar una lectura precisa y libre de contaminación.
Vesala drycap ® Los sensores son muy adecuados para monitorear la sequedad de los gases, ya que tienen un tiempo de respuesta extremadamente rápido, ahorrando gases caros y protegiendo el proceso en caso de avería. También se pueden calibrar automáticamente para lograr una buena estabilidad a largo plazo. El transmisor de punto de rocío visala dmt152 es la opción adecuada para esta aplicación, capaz de proporcionar resultados de medición en tiempo real y de alta calidad. El dmt152 debe instalarse directamente en el flujo de aire para garantizar la obtención de muestras representativas de gas y el uso de hilos cónicos para evitar fugas. La Sala de muestreo de Vesala está hecha de acero inoxidable pulido para garantizar una medición precisa y de alta calidad.
Importancia del control de la humedad:
El control de la humedad ayuda a prolongar la vida útil de los equipos de fabricación de semiconductores y mantener la calidad del producto final. Al utilizar sensores y transmisores de alta calidad durante todo el proceso de producción para monitorear y controlar los niveles de humedad, los fabricantes pueden proteger sus operaciones de los problemas relacionados con la humedad, reducir costos y maximizar la producción.
Sonda compacta de temperatura y humedad hmp9 (adecuada para entornos de aplicación que cambian rápidamente):
Vesala huiicap ® La sonda de temperatura y humedad hmp9 está especialmente diseñada para instalarse fácilmente en un ambiente que cambia rápidamente. El tiempo de respuesta rápida, el rendimiento de medición y la resistencia a los productos químicos son indispensables en estos entornos. El pequeño tamaño le permite instalarse en espacios reducidos, con una sonda de solo 5 mm (0,2 pulgadas) de diámetro. Para la instalación de tuberías y cajas experimentales, se puede utilizar el kit de instalación de tuberías para instalar la sonda.
Sonda inteligente de humedad y temperatura hmp3 (para aplicaciones generales de humedad y temperatura que utilizan sensores intercambiables):
Vesala huiicap ® La sonda inteligente de humedad y temperatura hmp3 está diseñada para entornos universales con niveles moderados de humedad y temperatura. La estructura de la sonda permite reemplazar los sensores sin necesidad de herramientas en el sitio, adecuado para sistemas industriales de hvac, salas de pintura, salas limpias, cabinas ambientales y aplicaciones en las que la recalibración regular no es suficiente para mantener la precisión de la medición.
