American Kri Hall ionic Source gridless eh Series

La serie EHS de fuentes de iones Kri Hall de Kaufman company, establecida por el Dr. Kaufman en los Estados unidos, es una fuente de iones de haz ancho, con un ángulo de dispersión de 45. el flujo de gas de la fuente de iones Hall puede elegir 2 - 25 SCCM / 2 - 50 SCCM / 2 - 50 SCCM / 2 - 75 SCCM / 5 - 100 SCCM y otros niveles diferentes. La corriente de la fuente de iones Hall es opcional 5a / 10A / 12A / 15A / 20a, etc. La alta concentración de la fuente de iones Hall aumenta la tasa de depósito de recubrimiento, la baja energía cinética reduce el bombardeo de iones y daña la superficie, y el diseño de haz ancho mejora efectivamente el rendimiento y cubre la zona de depósito. El conjunto es fácil de operar y mantener. Hall ionic Source eh proporciona un conjunto completo de soluciones que incluyen fuente de iones, neutralizador electrónico, proveedor de energía, controlador de flujo MFC y así sucesivamente.