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Bodong Enterprise (shanghai) co., Ltd.
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Fuente de iones Kri Hall eh 400 en Estados Unidos

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Descripción general

El diseño de bajo costo de la fuente de iones Kri Hall eh 400 de kaufman, una empresa Kaufman establecida por el Dr. Kaufman en los Estados unidos, proporciona una alta corriente iónica. el tamaño y la energía iónica de la fuente de iones Hall eh 400 son especialmente adecuados para sistemas de vacío pequeños y medianos, que pueden controlar una energía iónica más baja, generalmente se aplica a recubrimientos asistidos por iones, pre - limpieza y grabado de iones de baja energía. Tamaño: diámetro = 3,7 alto = 3 voltaje / corriente de descarga: 50 - 300ev / 5A gas de operación: ar, xe, kr, o2, n2, precursor orgánico

Detalles del producto

Características del producto eh400 de la fuente de iones Kri Hall en los Estados unidos:

Bo DongKRIFuente de iones HalleH 400Características:

1.Componente de ánodo extraíble- -Fácil mantenimientoV;Durante el mantenimiento,Minimizar el tiempo de inactividadV;ánodo de repuesto plug - and - play

2.Haz ancho y corriente de alta descarga- -Tasa de grabado uniformeV;Alta eficiencia de grabadoV;Recubrimiento asistido por iones altosIADEficiencia

3.Multipropósito- -Aplicable aLoad lock /Sistema de vacío súper alto

4.Conversión de plasma eficiente y control de potencia estable