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Bodong Enterprise (shanghai) co., Ltd.
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Fuente de iones Kri Hall eh 1000 en Estados Unidos

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Descripción general

Shanghai bodong representa el uso eficiente de gas de la fuente de iones krihall eh1000 de Kaufman company, establecida por el Dr. Kaufman en los Estados Unidos. el diseño de bajo costo proporciona una corriente de iones alta, especialmente adecuada para sistemas de vacío medianos. Pertenece a la fuente de iones de red sin puerta. Por lo general, se aplica a recubrimientos asistidos por iones, pre - limpieza y grabado de iones de baja energía. Tamaño: diámetro = 5,7 alto = 5,5 voltaje / corriente de descarga: 50 - 300v / 10A gas de operación: ar, xe, kr, o2, n2, precursor orgánico

Detalles del producto

Características del producto eh1000 de la fuente de iones Kri Hall en los Estados unidos:

Bo DongKRIFuente de iones HalleH 1000Características:

1.Componente de ánodo extraíble- -Fácil mantenimientoV;Durante el mantenimiento,Minimizar el tiempo de inactividadV;ánodo de repuesto plug - and - play

2.Haz ancho y corriente de alta descarga- -Alta densidad de corrienteV;Tasa de grabado uniformeV;Alta eficiencia de grabadoV;Recubrimiento asistido por iones altosIADEficiencia

3.Multipropósito- -Aplicable aLoad lock /Sistema de vacío súper altoV;Fácil instalaciónV;No se necesita refrigeración por agua

4.Conversión de plasma eficiente y control de potencia estable