Máquina de limpieza de obleas semiconductoras KWD - 100162sth

Funciones del producto:

◆Se adopta un conjunto de manipuladores neumáticos de varios brazos para la transmisión, el posicionamiento es preciso y la eficiencia es alta.

◆Interfaz hombre - máquina, control de programas plc, operación de pantalla táctil.

◆Agente de limpieza de agua, agua di, limpieza y secado ipa.

◆Método de calentamiento indirecto de aceite térmico, detección automática ipa, dispositivo de extinción de incendios.

◆El bastidor y el filtro de aire de alta eficiencia HEPA con cubierta exterior completamente cerrada evitan la contaminación secundaria.

◆Se utilizan varios equipos de limpieza de frecuencia de limpieza: 40khz, 80khz, 100khz, 120khz.