Características del producto de la Plataforma de nanoposicionamiento piezoeléctrico p63.x180z8k: recorrido del eje x 18 μm / eje, opcional de circuito abierto / cerrado, recorrido en dirección z, opcional de circuito abierto / cerrado, opcional de versión de vacío
P63.x180z8s p63.x180z8k Plataforma de nanoposicionamiento piezoeléctrico Características del producto
Recorrido del eje x 18 micras por eje
Abierto / cerrado opcional
Recorrido en dirección Z 8 μm
Abierto / cerrado opcional
La versión al vacío es opcional
Parámetros técnicos:
modelo |
S - circuito cerrado
K - anillo abierto
|
P63.X18Z8S |
P63.X18Z8K |
unidad |
Libertad de movimiento |
X y Z |
X y Z |
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Control de accionamiento |
Tracción de 2 vías, detección de 2 vías |
Tracción de 2 vías |
|
Rango de viaje nominal (0 ~ + 120 v) |
X: 16, Z: 6 |
X: 16, Z: 6 |
μm ± 10% |
Max. rango de viaje (0 a + 150 v) |
X: 18, Z: 8 |
X: 18, Z: 8 |
μm ± 10% |
Tipo de sensor |
de SGS |
- |
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Resolución de anillo cerrado / abierto |
X0.6 Z0.2 |
X0.2 Z0.1 |
nm |
Lineal de circuito cerrado |
X: 0.3, Z: 1 |
- |
%F. El S. |
Precisión de posicionamiento repetida de circuito cerrado |
0.25 |
- |
%F. El S. |
Inclinación / desviación / rodadura |
≤ 15 |
≤ 15 |
μrad |
Frecuencia de resonancia sin carga |
X2 / Z1 |
X2 / Z1 |
KHz±20% |
Tiempo de paso sin carga de anillo cerrado / abierto |
8 |
0.5 |
ms ± 20% |
Capacidad de carga |
0.5 |
0.5 |
kilogramos |
Capacidad estática |
X: 1.8, Z0.8 |
X: 1.8, Z0.8 |
μF ± 20% |
Rango de temperatura de trabajo |
- 20 a 80 |
- 20 a 80 |
° C |
material |
aluminio |
aluminio |
|
Longitud de salida |
1.5 |
1.5 |
m ± 10 mm |
P63.x180z8s p63.x180z8k Plataforma de nanoposicionamiento piezoeléctricoMapa de dimensiones
