Características del producto de la Plataforma de posicionamiento nanométrico piezoeléctrico p63.xy18s p63.xy18k: recorrido del eje XY 18 micras por eje; Abierto / cerrado opcional; Puede transportar hasta 0,5 kg; la versión al vacío es opcional;
P63.xy18s p63.xy18k Plataforma de posicionamiento nanométrico piezoeléctricoCaracterísticas del producto
Recorrido del eje XY 18 μm / eje
Abierto / cerrado opcional
Carga hasta 0,5 kg
La versión al vacío es opcional
Parámetros técnicos:
modelo |
S - circuito cerrado
K - anillo abierto
|
P63.XY18S |
P63.XY18K |
unidad |
Libertad de movimiento |
X y Y |
X y Y |
|
Control de accionamiento |
Tracción de 2 vías, detección de 2 vías |
Tracción de 2 vías |
|
Rango de viaje nominal (0 ~ + 120 v) |
16 / eje |
16 / eje |
μm ± 10% |
Max. rango de viaje (0 a + 150 v) |
18 / eje |
18 / eje |
μm ± 10% |
Tipo de sensor |
de SGS |
- |
|
Resolución de anillo cerrado / abierto |
0.6 |
0.2 |
nm |
Lineal de circuito cerrado |
0.3 |
- |
%F. El S. |
Precisión de posicionamiento repetida de circuito cerrado |
0.25 |
- |
%F. El S. |
Inclinación / desviación / rodadura |
≤ 15 |
≤ 15 |
μrad |
Frecuencia de resonancia sin carga |
2 |
2 |
KHz±20% |
Tiempo de paso sin carga de anillo cerrado / abierto |
8 |
0.5 |
ms ± 20% |
Capacidad de carga |
0.5 |
0.5 |
kilogramos |
Capacidad estática |
1.8 |
1.8 |
μF ± 20% |
Rango de temperatura de trabajo |
- 20 a 80 |
- 20 a 80 |
° C |
material |
aluminio |
aluminio |
|
Longitud de salida |
1.5 |
1.5 |
m ± 10 mm |
P63.xy18s p63.xy18k Plataforma de posicionamiento nanométrico piezoeléctricoMapa de dimensiones
