La superficie de muestreo horizontal sin barreras alberga obleas de 52 x 10 mm a 203 mm (8 pulgadas) de diámetro. Método de muestreo sin contacto; El contacto con el cristal de acoplamiento está fuera del área de medición. Debido a los múltiples reflejos, la sensibilidad es muy alta. Para las obleas de 0770 mm de espesor, se proporcionan 33 reflejos de la superficie recubierta.
WafIR™Determinación de obleasATR
WafIR™ Es un nivelATRAccesorios para analizar monocapas y otros recubrimientos delgados aplicados a un lado de la pasta pulida de doble Cara. Tiene un45° cristales de silicio con ángulo de incidencia que pueden acoplar la luz dentro y fuera de la obleas.WafIRContiene un aplicador de presión con almohadilla de presión diseñado para lograr un buen contacto con un área de contacto * pequeña, fuera del área de medición. El aplicador de presión incluye un embrague deslizante para limitar la fuerza total aplicada a la muestra y es compatible con una llave de par para lograr la repetibilidad.WafIREstá completamente cerrado para una purificación rápida, con la mayoríaFTIREl espectrómetro es compatible.
característica
La superficie de muestreo horizontal sin barreras puede acomodar el diámetro de52 x 10 mma203 mm(8Chip de (pulgadas).
Método de muestreo sin contacto; El contacto con el cristal de acoplamiento está fuera del área de medición.
Debido a los múltiples reflejos, la sensibilidad es muy alta.
para0.770Obleas de espesor milimétrico, proporcionadas desde la superficie recubierta33Reflejo secundario.
fijo45° ángulo de incidencia.
Cristales de acoplamiento de silicio reemplazables.
El embrague deslizante incorporado limita la fuerza total ejercida sobre la muestra.
Un aplicador de presión único, con juntas, minimiza el contacto con la muestra.
Fácil alineación y uso.
PermaPurge™ Las muestras se pueden reemplazar rápidamente sin interrumpir la limpieza.
Incluye
Cristal acoplado al silicioWafIR.
Especifica el hardware de apoyo del espectrómetro.