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Elipsometro de matriz de Wuhan yiguang me - l Mueller

modelo
Naturaleza del fabricante
Productores
Categoría de producto
Lugar de origen
Descripción general
Elipsometro de matriz me - l Mueller I. introducción del producto: 1. rango espectral ultra amplio: fuente de luz compuesta con lámpara de deuterio y lámpara de halógeno
Detalles del producto



Elipsometro de matriz Müller me - l
    I. introducción del producto:

    1. rango espectral ultra amplio: se utiliza una fuente de luz compuesta de lámparas de deuterio y lámparas de halógeno, y la cobertura espectral del rango ultravioleta a infrarrojo cercano (380 - 1000 nm) apoya la expansión a 200 - 1650 nm.

    2. modulación del compensación de doble rotación: control simultáneo de la rotación de alta precisión y el activación para realizar la adquisición de datos espectrales de alta velocidad

    3. medición de la matriz Müller completa: basada en la configuración del compensación de doble rotación, se pueden obtener 16 elementos de la matriz Müller a la vez, lo que puede obtener información de medición más rica y completa que el elipsometro espectral tradicional.

    4. diseño de compensación de supercolor: tecnología de compensación patentada para adaptarse a los requisitos de modulación de fase de alta precisión en un amplio rango espectral, desde la ultravioleta profunda hasta el infrarrojo cercano

    5. rica base de datos de materiales y modelos algorítmicos: cientos de bases de datos de materiales, una variedad de bases de datos de modelos algorítmicos, que cubren la mayoría de los materiales ópticos actuales

    6. interfaz interactiva guiada: el asistente de software interactúa con la interfaz hombre - computadora para proporcionar a los usuarios una experiencia operativa de alta calidad.

    7. capacidad de análisis de nanorejillas: el modelo de algoritmo de análisis avanzado realiza la extracción de información de morfología geométrica, como el período de estructura de nanorejillas, el ancho de línea, la altura de la línea, el ángulo de la pared lateral y la rugosidad.




    II. parámetros técnicos:

    Funciones básicas Adquisición única de matrices mueller, PSI / delta, n / C / s, R / T y otros espectros
    Rango espectral 380 - 1000nm (210 - 1650nm opcional)
    Tiempo de medición 1-8s
    Rango de ángulo de incidencia 45 - 90 °
    Tamaño del punto de luz 2-3mm/200um
    Precisión repetitiva 0005 nm (silicio sio2 de 100 nm)
    Precisión absoluta
    (medio de aire)
    Parámetros elípticos: PSI = 45 ± 0,05 ° △ = 0 ± 0,01 °
    Matriz mueller: elemento diagonal m = 1 ± 0005 elemento no diagonal m = 0 ± 0005
    Software de análisis Hasta cientos de bibliotecas de materiales ópticos, compatibles con la personalización del usuario
    Funciones de modelado, simulación y análisis de películas ópticas isotrópicas / isotrópicas multicapa y estructuras de rejilla periódica