En las industrias de procesamiento de alta precisión, como semiconductores, Optoelectrónica y fabricación de micro y nano, los procesos clave como el recubrimiento, el desarrollo y la limpieza de obleas deben completarse en un entorno limpio altamente controlado de clase 1 de la norma iso. cualquier pequeña perturbación del flujo de aire (como vórtice local, mutación de la velocidad del viento) o velocidad anormal del viento (demasiado alta o demasiado baja) durante este proceso puede causar problemas graves: la velocidad del viento demasiado baja puede causar que los contaminantes de la zona limpia no se eliminen a tiempo, aumentando el riesgo de contaminación de la superficie de la obleas; La velocidad del viento demasiado alta puede soplar fácilmente el recubrimiento fotorresistente en la superficie de la obleas, causando deformación o defectos en el patrón; Las perturbaciones del flujo de aire también pueden interferir con la precisión de transmisión mecánica de la obleas e incluso causar fallas de estancamiento del equipo, que eventualmente afectarán directamente la tasa de rendimiento del producto (lo que puede causar una disminución de la tasa de rendimiento de más del 10%) y la estabilidad del proceso.



Por lo tanto, el monitoreo preciso, repetible y en tiempo real de la velocidad del viento en el interior de la cavidad del equipo se ha convertido en uno de los medios centrales para garantizar la consistencia del proceso, verificar si el rendimiento del equipo cumple con los estándares e investigar los riesgos potenciales, y el probador ambiental 6531 es el equipo clave para satisfacer esta demanda central.
Proceso de prueba
Para verificar si el Estado del flujo de aire en el canal de transmisión de la obleas cumple con los requisitos del proceso, se utiliza un probador ambiental multiparametro de alta precisión 6531 para medir simultáneamente los siguientes parámetros clave.
Condiciones ambientales:
La prueba debe llevarse a cabo en un ambiente limpio de temperatura constante y presión constante, nivel isoclass1, para evitar la detección de interferencia de partículas externas, y la autopurificación y el equilibrio del sistema deben completarse antes de la prueba.



Rango de velocidad del viento:
Equipos de recubrimiento / desarrollo de pegamento (máquina de recubrimiento de pegamento, máquina de desarrollo, máquina de pulverización de pegamento)
Este tipo de equipos deben completar operaciones finas como el recubrimiento fotorresistente y la pulverización de desarrolladores durante el proceso de procesamiento. el espesor del recubrimiento fotorresistente generalmente se mide en el nivel de micras. la velocidad excesiva del flujo de aire puede causar ondulaciones, acumulación de bordes y otros defectos en la superficie del recubrimiento. si es demasiado lenta, no puede quitar el vapor de disolvente volátil durante el proceso de recubrimiento / visualización a tiempo, lo que puede causar fácilmente contaminación de obleas. Por lo tanto, la velocidad del viento debe controlarse estrictamente en 0,3 - 1,0 m / s, y es necesario garantizar que el flujo de aire se distribuya uniformemente en la sección transversal de la cavidad.
Equipo de limpieza (máquina de eliminación de pegamento, máquina de limpieza única)
La limpieza requiere la eliminación de geles e impurezas con reactivos químicos (ácido sulfúrico, ácido fluorhídrico, etc.) o aerosoles de alta presión, durante los cuales se producirán vapor químico y escombros de partículas. La falta de velocidad del viento puede hacer que los contaminantes se adhieran fácilmente, lo que resulta en una limpieza inadecuada de di; si la velocidad del viento es demasiado alta, Soplará el flujo de agua de pulverización o volatilizará rápidamente los reactivos residuales para formar contaminación cristalina. Por lo tanto, la velocidad del viento se establece en 1,0 - 1,5 m / s, que no sólo puede eliminar eficazmente los contaminantes, sino también mantener la estabilidad del flujo de aire de la cavidad y no interferir con el proceso de limpieza.
Temperatura y humedad:
La temperatura demasiado alta hace que la viscosidad del fotorresistente disminuya y el disolvente se volatilice rápidamente, lo que afecta la uniformidad del fotorresistente; Si es demasiado bajo, reduce la actividad del reactivo de limpieza y el efecto de limpieza empeora; La humedad demasiado alta puede causar corrosión metálica y cortocircuitos eléctricos en el equipo, mientras que la humedad demasiado baja produce electricidad estática y absorbe partículas para contaminar la obleas. Por lo tanto, la temperatura debe controlarse en unos 25 ° C y la humedad en un 50% de rh.
Diferencia de presión:
Si la presión interna es demasiado baja, el aire polvoriento externo se filtrará en la contaminación; Si es demasiado alto, puede causar deformación del sello de la cavidad y flujo de aire anormal, lo que afectará el funcionamiento del equipo. Los requisitos de diferencia de presión de los diferentes equipos son diferentes: la máquina de recubrimiento de pegamento y el desarrollo tienen una fuerte confidencialidad y sellado, y es necesario estabilizar el flujo de aire, y la diferencia de presión suele ser de 5 a 50 pa; la máquina de eliminación de pegamento y la máquina de limpieza única deben acelerar la descarga de gases volátiles, con una diferencia de presión de 50 a 200 PA. el rango general de diferencia de presión es de 1 a 200 pa (dependiendo del tipo de equipo).
Método de prueba:
1. adoptar el método de distribución de puntos de red: con referencia a la norma ISO 14644 - 3, la superficie de salida de aire de ffu se divide en una red de área igual de al menos 3 × 3 o 4 × 4; El Centro de la cuadrícula es el punto de muestreo, que también incluye áreas clave como debajo de la salida de escape del filtro de alta eficiencia, la esquina de la cavidad y por encima de la ruta de transmisión de la obleas. Tome la velocidad media del viento de la sección transversal de prueba para juzgar si cumple con los requisitos.



2. ajuste la sonda 6531 para que esté en la dirección correcta del viento entrante, y el punto de medición está a 15 a 30 cm de la superficie de salida de aire de la ffu (se puede ajustar según la situación en la plataforma del equipo).
3. ajuste la sonda 6531 a la posición del punto central de cada cuadrícula, se recomienda que el tiempo de medición sea ≥ 10 segundos cada vez, mida varias veces y tome el promedio de los datos de velocidad del viento para registrarlo.
4. terminar la prueba y calcular y analizar los registros de datos recogidos.
Nota: el equipo debe mantener una buena estanqueidad durante la prueba para evitar cambiar el tamaño y el flujo del flujo de aire de salida de ffu debido al mal sellado de la cavidad durante la prueba, lo que afectará la credibilidad de los resultados de la prueba.



Efecto de la prueba:
La medición real muestra que el probador ambiental 6531 puede verificar con precisión la estabilidad del flujo de aire de la cavidad limpia y garantizar efectivamente la seguridad de transmisión de obleas y la consistencia del proceso en el proceso de alta limpieza; Al mismo tiempo, su monitoreo simultáneo de múltiples parámetros y la acumulación de datos a largo plazo proporcionan una base confiable para la puesta en marcha, aceptación y mantenimiento del equipo, lo que mejora significativamente la tasa de rendimiento y la eficiencia operativa de la línea de producción.
Rendimiento y aplicación del instrumento
El probador ambiental inteligente 65ser, que prueba simultáneamente la velocidad del viento, el volumen de aire, la temperatura, la humedad y la presión, puede introducir la forma y el tamaño de la sección transversal de la tubería para calcular el volumen de aire, la función de retención de datos de prueba, el cálculo estadístico (promedio, máximo, mínimo), el almacenamiento de datos hasta 20000, ocho sondas para elegir, intercambiables y compatibles.



El probador ambiental kanomax 65ser es ampliamente utilizado en pruebas de ventilación, control de laboratorio, pruebas de Sala limpia, evaluación iaq, higiene industrial, control de calidad, etc., para garantizar la seguridad del proceso y la calidad del producto.