Perfilador óptico del medidor de superficie tridimensional

I. introducción del producto

Perfilador óptico de medidor de superficie tridimensional super Focus 3000Es un instrumento de detección utilizado para medir la superficie de varios dispositivos y materiales de precisión a nivel nanométrico. Se basa en la tecnología de interferencia de luz blanca, combinada con el módulo de escaneo Z de precisión, el algoritmo de modelado 3d, etc., para escanear sin contacto la superficie del dispositivo y establecer imágenes 3D de la superficie, procesar y analizar los datos de las imágenes 3D de la superficie del dispositivo a través del software del sistema, y obtener parámetros 2d y 3D que reflejan la calidad de la superficie del dispositivo, logrando así la medición 3D de la morfología de la superficie del dispositivo.

Se puede utilizar ampliamente en la fabricación de semiconductores y la detección de procesos de encapsulamiento, pantallas de vidrio electrónicas 3C y sus accesorios de precisión, procesamiento óptico, micro y nanomateriales y fabricación, piezas de automóviles, Dispositivos microelectrónicos y otras industrias de procesamiento de ultraprecisión, así como en aeroespacial, industria militar de defensa nacional, institutos de investigación científica y otros campos. Se pueden medir todo tipo de superficies de objetos, desde superlisas hasta ásperas, de baja reflectividad a alta reflectividad, y la rugosidad, planitud, contorno geométrico microscópico, curvatura de piezas de trabajo de nivel nanométrico a micron, proporcionando una base.ISO/ASME/EUR/GBTHay más de 300 parámetros 2D y 3D en los cuatro estándares nacionales y extranjeros como criterios de evaluación.

II. funciones del producto

1) el software de medición y análisis de la operación integrada, la operación no necesita cambiar la interfaz, los parámetros de configuración se establecen con antelación antes de la medición, el software cuenta automáticamente los datos de medición y proporciona la función de exportación de informes de datos, puede realizar rápidamente la función de medición por lotes.

2) en la medición se proporcionan funciones automáticas de medición multiregional automática, medición por lotes, enfoque automático, ajuste automático de brillo y otras funciones automáticas.

3) se proporciona la función de medición de empalme en la medición.

4) en el análisis se proporcionan las funciones de procesamiento de datos de los cuatro módulos principales de ajuste de posición, corrección, filtrado y extracción, entre ellos, el ajuste de posición incluye las funciones de Nivelación de imagen y espejo; La corrección incluye funciones como filtrado espacial, corrección y eliminación de ruido de pico; El filtro incluye funciones como eliminar la forma, el filtro estándar y filtrar el espectro; La extracción incluye funciones como el área de extracción y el perfil de extracción.

5) en el análisis se proporcionan cinco funciones de análisis principales, como el análisis de rugosidad, el análisis de contorno geométrico, el análisis estructural, el análisis de frecuencia y el análisis funcional, de las cuales el análisis de rugosidad incluye funciones de análisis de parámetros completos, como la rugosidad de línea de iso4287, la rugosidad de superficie de iso25178 y la planitud de iso12781 De acuerdo con las normas internacionales; El análisis del contorno geométrico incluye la medición de la altura del escalón, la distancia, el ángulo, la curvatura y otras características, así como la evaluación de la tolerancia de la forma y la posición de la rectitud y la redondez; El análisis estructural incluye el volumen del agujero y la profundidad del valle; El análisis de frecuencia incluye funciones como la dirección de la textura y el análisis del espectro; El análisis funcional incluye funciones como parámetros SK y parámetros de volumen.

6) en el análisis se proporcionan funciones de análisis auxiliares, como el análisis con un solo clic y el análisis de múltiples documentos, se establece una plantilla de análisis, combinada con las funciones de medición automática y de medición por lotes proporcionadas en la medición, se puede realizar la función de medición por lotes de dispositivos de precisión de pequeño tamaño y obtener datos de análisis directamente.

III. Áreas de aplicación

Se miden y analizan las características morfológicas de la superficie de varios productos, componentes y materiales, como la planitud, la rugosidad, la ondulación, el contorno de la superficie, los defectos superficiales, el desgaste, la corrosión, la brecha de poros, la altura de los escalones, la deformación por flexión y el procesamiento.

IV. características de rendimiento

1, Alta precisión, alta repetibilidad

1) utilizar la tecnología de interferencia óptica, el módulo de escaneo Z de precisión y el excelente algoritmo de reconstrucción 3D para formar un sistema de medición para garantizar una alta precisión de medición;

2) el sistema único de aislamiento de vibraciones puede aislar eficazmente la mayor parte de la vibración con una frecuencia superior a 2hz, eliminar el ruido de vibración del suelo y el ruido de vibración acústica en el aire, garantizar el uso estable del instrumento en la mayoría de los entornos del taller de producción y obtener una repetibilidad de medición extremadamente alta;

2, software de medición y análisis de operaciones integradas

1) la medición y el análisis funcionan en la misma interfaz, sin cambiar, y los datos de medición se cuentan automáticamente, lo que realiza la función de medición rápida por lotes;

2) ventana visual para que los usuarios puedan observar el proceso de escaneo en tiempo real;

3) en combinación con la función de medición automatizada de la plantilla de análisis personalizada, se puede completar automáticamente el proceso de medición y análisis de múltiples áreas;

4) los cinco módulos funcionales de análisis geométrico, análisis de rugosidad, análisis estructural, análisis de frecuencia y análisis funcional están completos;

5) análisis con un solo clic, análisis de múltiples archivos, conservación de elementos de análisis de combinación libre como plantilla de análisis, análisis de muestras por lotes con un solo clic, y proporcionar funciones de análisis de datos y gráfico estadístico;

6) se pueden medir más de 300 parámetros 2D y 3D de acuerdo con estándares como ISO / ASME / eur / gbt.

3, joystick de precisión

El joystick, que integra la función de ajuste de desplazamiento en las tres direcciones x, y y z, puede completar rápidamente el trabajo previo a la medición, como la traducción de la Plataforma de carga, el enfoque en la dirección Z y la búsqueda de rayas.

4Sistema de aislamiento de vibraciones flotantes de aire de doble canal

No sólo se puede acceder a la fuente de aire estable en el sitio del cliente, sino también utilizar un dispositivo de presión portátil para presurizar directamente el sistema de aislamiento de vibración flotante de doble canal inflable, que también puede funcionar de manera estable sin una fuente de aire externa.

V. indicadores técnicos

1. especificaciones técnicas:

Nota: los parámetros de rendimiento de la rugosidad se basan en la norma ISO

La norma internacional 25178 mide el parámetro ra de un chip de silicio de 0,2 nm en un entorno de laboratorio;

2Los parámetros de alto rendimiento de los escalones se basan en la norma ISOEl estándar internacional 25178 se obtuvo midiendo un bloque estándar de alto nivel de 4,7 micras en un entorno de laboratorio.. tamaño del instrumento (largo×Ancho

3×

4Alto): motor principal: 900 × 700 × 604 mm;

. peso de la máquina principal del instrumento: menos de 90 kg;

. entorno de uso: sin campo magnético fuerte, sin gas corrosivo

Temperatura de trabajo: 15 ° C a 30 ° c, gradiente de temperatura%

1 ° C / 15 minutos

Humedad relativa: 5% - 95% rh, sin condensación

Vibración ambiental: VC - C o mejor

Fuente de gas de aislamiento de vibraciones: fuente de gas limpia de Estabilización de presión de 0,6 mpa, eliminación de aceite y agua, diámetro de la tráquea de 6 mm
VI. lista de configuraciones de productosConfiguración estándar:1) máquina principal del interferómetro de luz blanca2)

Lente de interferencia:10XV;

3) sistema de imágenes:1024 * 1024V;4) ÓpticaZoom

:

1X

V;

5) Plataforma de carga de desplazamiento xy: Plataforma de desplazamiento automático;

6) computadoras de marca;

7) módulo de calibración del sistema;

8) joystick;

9) software de perfilador de superficie;

10) Gabinete de control eléctrico;

11) caja de accesorios de instrumentos;

12) un conjunto de dispositivos portátiles de inflación presurizada;

13) instrucciones de uso del producto;2.514) certificado de conformidad del producto y tarjeta de garantía;5Configuración opcional:201) lente de interferencia:50×,100×,

×,2048×,2048×;

2) sistema de imágenes:×V;3) ópticazoom:0.75X

，

0.5X

V;4) módulo de medición automática (requiere soporte de hardware);5) módulo de empalme (requiere soporte de hardware);6) un conjunto de mesas de adsorción al vacío(