Medidor de flujo de masa de qixing huachuang

Medidor de flujo de masa de qixing huachuang

Manual de uso del controlador de flujo de masa y del medidor de flujo de masa 1. Usuarios respetados por las instrucciones de uso, gracias por comprar productos de controlador de flujo de masa / medidor de flujo de masa de la serie D07 producidos por nuestra empresa. Este manual detalla los asuntos necesarios para el uso correcto y seguro de esta serie de productos. Los usuarios del producto deben consultar cuidadosamente este manual y entenderlo antes de usarlo. durante su uso, preste atención al texto marcado y a todo el contenido de las precauciones. La empresa tiene derecho a no ser responsable de los daños materiales o personales causados por el uso no realizado de acuerdo con el Manual de uso. Este manual debe conservarse adecuadamente cuando instale, mantenga y repare fallas. 2. El medidor de flujo de masa de uso y características (mfm) se utiliza para medir con precisión el flujo de masa del gas; El controlador de flujo de masa (mfc) se utiliza para medir y controlar con precisión el flujo de masa del gas. Tienen importantes aplicaciones en la investigación científica y la producción en muchos campos, como la industria Microelectrónica de semiconductores, el desarrollo de materiales especiales, la industria química, la industria petrolera, la medicina, la protección del medio ambiente y el vacío. Sus aplicaciones típicas incluyen: equipos de proceso electrónico, como difusión, oxidación, epitaxia, CVD、 Grabado por plasma, pulverización e implantación de iones; Así como equipos de recubrimiento al vacío, fundición de fibra óptica, dispositivos de microreacción, sistemas de distribución de gas mixto, medición capilar, cromatógrafo de gas y otros instrumentos de análisis. El controlador de flujo de masa y el medidor de flujo de masa de la serie D07 tienen las características de alta precisión, buena repetibilidad, velocidad de respuesta rápida, arranque suave, estabilidad y fiabilidad, amplio rango de presión de trabajo (se puede trabajar en condiciones de alta presión o vacío), su operación y uso son convenientes, se pueden instalar en cualquier lugar y se pueden conectar fácilmente con la computadora para lograr el control automático. El controlador de flujo de masa y el medidor de flujo de masa de la serie D07 generalmente se utilizan con el monitor de flujo de la serie D08 y otros productos, y el controlador y el monitor se conectan con un cable especial.

Medidor de flujo de masa de qixing huachuang

3. cuadro 1 de los principales indicadores técnicos. El proyecto de número de índice de rendimiento dm7 - 19B de las especificaciones de tráfico dm7 - 19b1 (0 a 5,10, 20, 30, 50100200300500) SCCM (0 a 1,2, 3, 5, 10, 20, 30) precisión slm2 ± 1% F.S. (20,30slm: ± 2% f.s.) 3 lineal ± 0,5% F.S. (20,30slm: ± 2% f.s.) 4 precisión de repetición ± 0,2% F.S. tiempo de respuesta ≤ 2 Segundos 6 rango de presión de trabajo ≤ 10 SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 La presión máxima de trabajo 1 mpa8 es resistente a la presión 3 MPa (435,1 psig) 9 temperatura ambiente de trabajo 5 ° C a 45 ° C 10 señal de entrada y salida 0 v ~ + 5,00 V (resistencia de entrada superior a 100 k, corriente de salida no superior a 3 ma) 11 fuente de alimentación + 15 V 50 ma; El tamaño exterior de - 15v 200 ma 12 se muestra en la figura 413 y el peso es de 0,95 kg. nota: El medidor de flujo de masa y el controlador de flujo de masa generalmente se calibran con nitrógeno (n2) en la fábrica. La unidad de flujo de masa se especifica como: SCCM (ml / MIN estándar); El Estado estándar de SLM (l / MIN estándar) se estipula como: temperatura - "273,15 K (0 ℃); La presión atmosférica - 101.325 pa (760 mm hg) está en el Centro de productos mfm / mfm del medidor de flujo de siete estrellas, la unidad SCCM es equivalente a "ml / min, 0 ° c, 1 atm", y la unidad SLM es equivalente a "l / min, 0 ° c, 1 atm". Página 4 de 28 F.S. (escala completa): tabla de valores de rango completo 2. El proyecto de numeración del indicador de rendimiento mfm D07 - 19bm1 (0 a 5, 10, 20, 30, 50100200300500) SCCM (0 a 1, 2, 3, 5, 10, 20, 30) precisión slm2 ± 1% F.S. (20, 30slm: ± 2% f.s.) 3 lineal ± 0,5% F.S. (20,30slm: ± 2% f.s.) 4 precisión de repetición ± 0,2% f.s.5 respuesta ≤ 2 segundos de caída de presión entre ≤ 2 segundos 0,02 MPa (2,9 psid) 7 presión máxima de trabajo 1 mpa8 resistencia a la presión 10 Mpa (1450,4 psig) 9 temperatura ambiente de trabajo 5 ° C a 45 ° C 10 señal de salida 0 v ~ + 5,00 V (resistencia de entrada superior a 100 k, corriente de salida no superior a 3 ma) 11 fuente de alimentación + 15 V 50 ma - 15 V 50 ma12 tamaño exterior ver figura 413 peso 0,7 kg los principales indicadores técnicos de cada modelo de producto en las tablas 1 y 2. El tipo D07 - 19bm es la parte de medición de flujo del tipo D07 - 19b, y el mismo tipo de mfm y el mismo indicador técnico de mfm en la parte de medición de flujo que el metano. 4. estructura y principio de funcionamiento 4.1 El medidor de flujo de masa estructural está compuesto por sensores de flujo, canales de derivación y circuitos de amplificación de flujo; Sobre la base del medidor de flujo de masa, junto con la válvula de ajuste y el circuito de control idp, se forma el controlador de flujo de masa. El controlador de flujo de masa D07 - 19b, la estructura después de abrir la cubierta exterior se muestra en la figura 2.