Marca de escalón de película fina

Serie NS de instrumentos de zhongtuMarca de escalón de película finaLa precisión de nivel Asiático - egipcio, la adaptabilidad multiescenario y la operación inteligente pueden medir con precisión la altura de los escalones (nano a 1050 micras), la rugosidad de la superficie (ra, RZ y otros parámetros), el espesor de la película y la distribución del estrés, proporcionando soporte de datos confiable para la investigación y el desarrollo de materiales, la optimización del proceso y el control de calidad.

I. funciones del producto

1. función de medición de parámetros

(1) altura del escalón: capaz de medir la altura del escalón de nanómetros a 330 micras o 1050 micras, puede medir con precisión el grabado, el chorro, SIMS、 Materiales depositados o eliminados durante los procesos de depósito, recubrimiento rotativo, cmp, etc.

(2) rugosidad y ondulación: puede medir la rugosidad y ondulación de la muestra, y el software de análisis puede obtener docenas de parámetros como ra, rms, rv, Rup y RZ relacionados con la rugosidad calculando la curva de contorno microscópico escaneada.

(3) medición del estrés: se puede medir el estrés superficial de varios materiales.

2. modo de medición y función de análisis

(1) modo de medición de una sola zona: después de completar focus, establezca el punto de partida del escaneo y la longitud del escaneo de acuerdo con el mapa de navegación de la imagen, y puede comenzar la medición.

(2) modo de medición multiregional: después de completar focus, se completa la configuración de la ruta de escaneo de una sola región de acuerdo con el mapa de navegación por imágenes, que puede formar un modo de medición multiregional compuesto por varias a decenas de cientos de rutas de escaneo en función de la distancia horizontal y vertical, y se puede completar la medición automática de todos los caminos de escaneo con un solo clic.

(3) modo de medición 3d: después de completar focus, se completa la configuración de la ruta de escaneo de una sola región de acuerdo con el mapa de navegación de la imagen, y se puede completar la configuración de toda la región de la superficie de escaneo de acuerdo con el ancho de la región a escanear o el espaciamiento y número de líneas de escaneo, y se puede completar automáticamente el escaneo y la reconstrucción de la imagen 3D de toda la región de la superficie de escaneo con un solo clic.

(4) análisis estadístico spc: soporte para el análisis de múltiples parámetros indicadores de diferentes tipos de piezas probadas, proporcionando gráficos SPC para los datos de medición de muestras por lotes para estadísticas de tendencias cambiantes.

3. función de imagen óptica de doble navegación

El modelo ns200 - D está equipado con una cámara de color de 500 W píxeles para enfrentar o estrabismar, que puede establecer con precisión la ruta de escaneo en el sistema de imágenes de navegación frontal y seguir la trayectoria de escaneo en tiempo real en el sistema de imágenes de navegación estrabismo.

4. función de cambio rápido de agujas

Se utiliza una aguja de medición de aspiración magnética, cuando se necesita realizar la operación de cambio de aguja, la aguja de medición de escaneo se puede reemplazar rápidamente en el lugar, y la calibración rápida se realiza de acuerdo con el módulo de calibración en el software para garantizar la precisión y repetibilidad después del cambio de aguja y reducir los problemas de mantenimiento.

II. Áreas de aplicación

Serie NSMarca de escalón de película finaEl escenario de aplicación es altamente adaptable, no tiene requisitos especiales para las características de reflectividad, los tipos de materiales y la dureza de las muestras probadas, y puede ser ampliamente utilizado en empresas industriales y unidades de investigación científica como universidades en diversos campos, como semiconductores, fotovoltaica solar, procesamiento óptico, led, Dispositivos microelectrónicos y preparación de materiales micro y nano. su caracterización precisa de los parámetros de micromorfología de la superficie es de gran importancia para la evaluación de materiales relacionados, análisis de rendimiento y mejora de los procesos de procesamiento.

III. escenarios de aplicación

1. fabricación de semiconductores: medición del espesor de la película depositada / grabada, detección de la planitud del proceso CMP y análisis de la altura de los escalones resistentes a la corrosión ayudan a mejorar el rendimiento del chip.

2. paneles fotovoltaicos y de visualización: detección del espesor de la película de recubrimiento solar, análisis de microestructura de la pantalla amoled, medición del rastro de cobre del panel táctil, adaptados a las necesidades de producción de módulos fotovoltaicos y dispositivos de visualización.

3. materiales microelectrónicos: caracterización morfológica de sensores en miniatura, detección del espesor de películas electrónicas flexibles, soporte para la investigación y el desarrollo de Dispositivos microelectrónicos y control de calidad de producción en masa.

4. investigación científica y universidades: análisis de estrés superficial de materiales, soporte de datos de investigación y desarrollo de procesos de micromecánica, aceleración del aterrizaje de proyectos de investigación científica.

IV. entorno de uso

Humedad relativa: humedad (sin condensación) 30 - 40% RH

Temperatura: 16 - 25 ° c (cambio de temperatura inferior a 2 ° C por hora)

Vibración del suelo: 6,35 μm / S (1 - 100hz)

Ruido de audio: ≤ 80 dB

Flujo laminar de aire: ≤ 0508 M / S (flujo hacia abajo)

¡Para personalizar el plan de medición para su escenario de la industria, obtener parámetros detallados o solicitar pruebas de muestra, no dude en ponerse en contacto con el instrumento zhongtu, ¡ le proporcionaremos soporte técnico profesional y servicios de consultoría!

(nota: los parámetros y funciones del producto pueden actualizarse con la actualización tecnológica, prevalecerá la comunicación real)