Regla láser de precisión a nivel de sistema

Serie plr3000 de instrumentos zhongtuRegla láser de precisión a nivel de sistemaApoyado por la tecnología central de interferencia láser + datos de núcleo duro, la resolución puede alcanzar los 10 nm y la precisión lineal puede alcanzar los 0,2 ppm, proporcionando retroalimentación y control de posición precisos y confiables para escenarios industriales complejos. Se utiliza ampliamente en áreas de alto requisito como mecanizado de ultraprecisión, fabricación microelectrónica, tecnología de litografía y aeroespacial.

En comparación con las reglas tradicionales de banda de acero o rejilla de vidrio, las reglas láser de fibra óptica tienen una distancia de rejilla más precisa y una mayor resolución, mientras que su diseño de aislamiento de fuente de calor garantiza una mayor estabilidad, con las características de instalación rápida y fácil colisión.

I. datos básicos

1. techo de precisión

Alta resolución de 10 nm (admite expansión externa), precisión lineal de la versión pro de 0,2 ppm (versión normal de 0,5 ppm), precisión de Estabilización de frecuencia tan baja como 0,02 ppm, lo que equivale a un error de distancia de medición de 4 metros de solo 0,8 micras, para satisfacer las necesidades de detección de producción a nivel nanométrico;

2. adaptación de toda la escena

El rango máximo es de 4M (se puede ampliar bajo demanda), la velocidad de medición dinámica admite 2M / s, cubriendo toda la escena desde la detección de laboratorio estático hasta la vinculación de la línea de producción de alta velocidad;

3. antiinterferencia ambiental

La estación meteorológica ambiental integrada compensa los efectos de la temperatura en tiempo real (10 - 40 ℃), la presión atmosférica (650 - 1150mbar) y la humedad (0 - 95% sin condensación), y la estabilidad de los datos se mantiene dentro de ± 0,1 ppm en condiciones de - 10 ℃ a 45 ℃.

4. diseño de instalación flexible

El motor principal láser (2,8 kg) está separado de la sonda (460 - 500g), la fibra óptica blindada de 3M está conectada (longitud personalizable), no hay presión para la instalación en espacios pequeños, y el error de Abe se reduce en más del 60%.

III. ventajas básicas

1. esquema tradicional de compactación de precisión

La precisión de la distancia de la rejilla es tres veces mayor que la de la rejilla de vidrio, la resolución es 100 veces mayor que la de la regla de la banda de acero, y la adaptabilidad ambiental cubre las condiciones de trabajo que los equipos tradicionales no pueden hacer frente;

2. personalización flexible sin umbral

Soporte de salida de un solo / doble / tres ejes, opcional sonda Prism diferencial / espejo plano / cono (resolución máxima de 0,5 nm), el rango de medición y la longitud del cable se pueden personalizar, adecuada para más del 90% de escenas complejas;

3. instalación y uso ahorran costos

Pequeño tamaño (la sonda es solo del tamaño de la palma de la mano), el ángulo de ajuste de alineación alcanza ± 1,5 °, el tiempo de instalación y puesta en marcha se reduce en un 50%, y el despliegue se puede completar sin un equipo técnico profesional;

4. doble valor de uso

Serie plr3000Regla láser de precisión a nivel de sistemaSe puede medir como un interferómetro láser independiente o acceder al sistema para realizar el control de retroalimentación de posición de circuito cerrado, y un equipo satisface múltiples necesidades.

IV. casos de aplicación

1. fabricación de semiconductores: posicionamiento preciso de la obleas de la fotolitografía, retroalimentación de circuito cerrado de la Mesa de trabajo de precisión, ayuda a mejorar la tasa de rendimiento de la fabricación de chips

2. aeroespacial: detección de deformación de la hoja del motor, montaje y calibración de alta precisión para garantizar la fiabilidad de los componentes básicos

3. mecanizado de precisión: retroalimentación de la posición de enlace multieje de la máquina cnc, medición de componentes micromecánicos, mejora la precisión y eficiencia del mecanizado

4. campo de la investigación científica: monitoreo de estabilidad de plataformas ópticas, control de equipos experimentales de ultraprecisión, soporte para la precisión de los datos de investigación de vanguardia

Nota: los parámetros del producto se optimizarán iterativamente con la tecnología, y el contenido relevante puede actualizarse en tiempo real, sin previo aviso, por favor entienda.

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