Sistema de medición del espesor de la obleas sin mapa

Instrumento zhongtu wd4000Sistema de medición del espesor de la obleas sin mapaUn equipo realiza la medición de todos los parámetros de espesor, morfología tridimensional y rugosidad, despidiéndose de la tediosa cooperación de múltiples equipos, teniendo en cuenta la alta precisión y la Alta eficiencia, y se adapta a las necesidades de detección de ultraprecisión de múltiples industrias.

I. ventajas del producto

1. medición de alta precisión, datos confiables

(1) tecnología de alineación confocal espectral + tecnología de interferencia de luz blanca, resolución Z de 0,1 nm, medición de altura local a nivel subnanométrico, para satisfacer las necesidades de detección de piezas de trabajo a nivel nanométrico.

(2) soporte para la evaluación de más de 300 parámetros de las cuatro normas semi / ISO / ASME / eur / gbt, y los resultados de la medición se pueden rastrear.

2. gran viaje a alta velocidad, adaptado a piezas de trabajo multiespecificaciones

(1) estructura de pórtico de gran recorrido 400x400x75mm, velocidad máxima de movimiento 500mm / s, doble eficiencia de detección.

(2) compatible con obleas de hasta 12 pulgadas, con ventosas de vacío recubiertas de descarga estática, adaptadas a una variedad de piezas de superficie, como lisa / áspera, baja / alta reflectividad.

3. estabilización y anti - interferencia, operación sin preocupaciones

(1) base de granito + diseño de aislamiento de vibraciones, resistente a la vibración del suelo y las ondas sonoras, excelente repetibilidad de la medición.

(2) doble anticolisión + cambio de lente eléctrica + joystick xyz, simplificar el proceso de operación, reducir el riesgo de mal funcionamiento y reducir los costos de entrenamiento.

4. automatización inteligente, adaptación a la línea de montaje industrial

(1) Mapping follow Technology + Machine Vision Mark Point location, admite la medición automática de múltiples puntos, líneas y superficies, y el modo CNC es compatible con la entrada de pistola de escaneo.

(2) la alineación de muestras con pinzas virtuales puede realizar pruebas automatizadas continuas de morfología multipunto y adaptarse a escenarios de producción en masa.

II. funciones básicas

1. medición sin contacto: evitar arañazos en la superficie de piezas de trabajo de precisión como carburo de silicio, zafiro y silicio, y proteger la integridad de los objetos a medir.

2. diseño integrado integrado: sin necesidad de cambiar varios equipos, se completa el grosor simultáneamente, TTV、LTV、BOW、WARP、 La medición de la rugosidad y la morfología tridimensional ahorra sitio y costos de inversión.

3. se abre todo el proceso de gestión de datos + análisis + acoplamiento de la función del software de medición:

(1) medición y análisis de funciones completas

① cubre las necesidades básicas de medición, como el grosor, la morfología tridimensional, la rugosidad y el contorno geométrico, y apoya la medición característica de la altura del escalón, el ángulo y la curvatura y la evaluación de la tolerancia de la forma y la posición.

② hay cinco módulos de análisis integrados, incluido el análisis de rugosidad de parámetros completos de la norma iso, las estadísticas de volumen de agujeros, el análisis de frecuencia, etc., para satisfacer las necesidades de detección en profundidad.

(2) gestión eficiente de datos

① gestión centralizada de los registros de medición, soporte para consultas multidimensionales como el modelo de pieza de trabajo, la fecha de detección y el Código de identificación, y la trazabilidad es conveniente.

② admite la importación de informes txt en los puntos a medir, sin entrada manual, para mejorar la eficiencia de la detección.

(3) salida flexible y acoplamiento

① exportar el informe Microsoft / Word / txt / spc, con mapas, mapas de control y estadísticas como ca / PPK / CPK para satisfacer las necesidades de control de calidad.

② compatible con la transmisión secs / mes, soporte de acoplamiento de datos remotos personalizado e integración perfecta en el sistema de producción existente de la fábrica.

III. Áreas de aplicación

del WD4000Sistema de medición del espesor de la obleas sin mapaSe utiliza en la fabricación de sustratos, fabricación de obleas, detección de procesos de encapsulamiento, pantallas de vidrio electrónicas 3C y accesorios de precisión, procesamiento óptico, paneles de visualización, Dispositivos microelectrónicos y otros campos de procesamiento de ultraprecisión.

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Nota: los parámetros del producto pueden actualizarse en tiempo real de acuerdo con la actualización técnica, prevalecerá la última configuración, y los detalles se pueden consultar al servicio al cliente para obtener información completa.