El controlador de flujo de masa FC serie t FC utiliza sensores térmicos + válvulas solenoides de bajo calor + tecnología de detección de presión $r $n para satisfacer la precisión de medición principal ≤ ¿ 177; 1,0% s.p. (25% - 100% f.s.) $r $n productos de la industria de contrapunto repetitivo (≤ ≤ 177; 0,2% f.s.)
Controlador de flujo de masa FCSerie t MFC
Con sensor térmico + válvula solenoide de bajo calor + tecnología de detección de presiónCumplir con la precisión de medición dominante ≤ 1,0% s.p. (25% - 100% f.s.) productos de la industria de comparación repetitiva (≤ 0,2% f.s.).
Principio de medición térmica: se utiliza dos sensores de temperatura, uno para medir la temperatura inicial del gas y el otro para medir la temperatura del gas calentado. al calcular la diferencia de temperatura y combinar la capacidad térmica específica del gas, se calcula con precisión el flujo de masa del gas sin necesidad de compensar los cambios de presión y temperatura, lo que mejora la precisión de la medición.1.
Principio de medición diferencial de presión: el flujo de volumen del gas se calcula midiendo la diferencia de presión generada por el gas cuando fluye a través del elemento de estrangulamiento en tiempo real por el sensor de flujo diferencial de presión, y la válvula de control ajusta con precisión la apertura de acuerdo con la medición y retroalimentación del sensor de flujo para garantizar que el flujo de gas a través del metano coincida con los valores preestablecidos.2.
Medición de alta precisión: con tecnología avanzada de sensores y procesos de fabricación, se puede lograr una medición y control de flujo de gas de alta precisión, con un error de medición tan bajo como ± 0,5% de lectura y una repetibilidad de ± 0,1%, cumpliendo con los estrictos requisitos para fluctuaciones de flujo a nivel nanométrico en campos Gaoduan como semiconductores.3.
Respuesta rápida: equipado con un controlador EIP y una válvula solenoide de alta velocidad, estos componentes pueden corregir la desviación del flujo en milisegundos de tiempo, el tiempo de respuesta suele ser inferior a 100 ms, que puede hacer frente a varios cambios dinámicos a tiempo para garantizar la estabilidad del flujo1.
Amplio rango: amplia cobertura de rango, desde pequeños flujos hasta escenarios de alto flujo, por ejemplo, puede cubrir el rango de 0,1 SCCM a 20000slpm para satisfacer las necesidades de diferentes escenarios de aplicación3.
Compatibilidad multigaseosa: soporte para la medición y control precisos de múltiples gases, como gases comunes como n, ar, h, sih, nh, cf, etc., que garantizan una alta precisión en diferentes mediciones de gases a través de técnicas de calibración multigaseosa14.
Buena estabilidad: los componentes clave, como los sensores y los elementos de calefacción, suelen utilizar la tecnología de control de temperatura constante para reducir el impacto de la deriva de la temperatura en la precisión de la medición. Al mismo tiempo, el proceso de soldadura láser se utiliza para fabricar el canal de flujo, evitando efectivamente la aparición de fugas, garantizando así la precisión y estabilidad a largo plazo de los resultados de la medición.1.
Múltiples interfaces de comunicación: equipado con interfaces de comunicación como rs485 y profibus, soporta la pantalla táctil para mostrar parámetros como temperatura, presión, Estado estándar / flujo de trabajo en tiempo real, lo que facilita la operación remota y el monitoreo de los usuarios, y se puede integrar con varios sistemas de control automatizado.3.
Fabricación de semiconductores y electrónica: controlar con precisión el flujo de gas de reacción en procesos como el procesamiento de obleas, la deposición de película fina (cvd / pvd) y el grabado (etc.) para garantizar la estabilidad del proceso y el rendimiento del chip.
Industria química y farmacéutica: se utiliza para controlar el flujo de gas en el reactor durante el proceso de reacción química, como oš, co2, etc., optimizando la velocidad de reacción y la calidad del producto.
Nueva energía y producción de pilas de combustible: ajustar el flujo de entrada de hidrógeno y oxígeno, optimizar la eficiencia de la reacción electroquímica y la Potencia de salida de la batería, pero también se puede utilizar para controlar la separación y el flujo de oxígeno e hidrógeno durante el proceso de electrolisis, así como para gestionar el flujo de gas durante el proceso de captura y compresión de co2.
Vigilancia ambiental y laboratorios: proporcionar flujo de gas estándar para equipos como cromatógrafo de gas (gc) y espectrómetro de masas (ms), y también se puede utilizar para controlar con precisión el flujo de muestreo de gas de los equipos de monitoreo ambiental, como pm2.5, detección de cov, etc.
