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Controlador de flujo de masa

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modelo

Naturaleza del fabricante: Productores

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Descripción general

El controlador de flujo de masa SERIE V metano es un dispositivo utilizado para controlar con precisión el flujo de masa de gas. el metano se puede aplicar tanto a los procesos de sección delantera de semiconductores, como etc, pvd, ald, mocvd, IMP y otros equipos, como en energía fotovoltaica, recubrimiento al vacío y otros campos. $r $nmfc puede proporcionar efectivamente una mayor tasa de rendimiento a través de un control preciso del flujo de gas.

Detalles del producto

Controlador de flujo de masaSerie V FC

Controlador de flujo de masaLa serie vg80 MFC es un componente utilizado para controlar el flujo de masa de gas, con las siguientes características1:

Diseño dute: diseño dute con "doble válvula + caída de presión + detección de posición".
Rendimiento youyue: velocidad de respuesta rápida, tiempo de arranque y parada ≤ 100 ms; alta precisión de medición, hasta ± 0,5% s.p.; El rango de medición es ancho, en 2 - 100% f.s.; Fuerte capacidad de autodiagnóstico y bajo costo de mantenimiento.

Escenarios de aplicación:El metano no solo se puede aplicar a procesos de sección delantera de semiconductores, como etc, pvd, ald, mocvd, IMP y otros equipos, sino que también tiene un mercado considerable en los campos de la energía fotovoltaica y el recubrimiento al vacío.El metano puede proporcionar efectivamente una mayor tasa de rendimiento a través de un control preciso del flujo de gas.

Esta serie de productos se puede utilizar ampliamente en equipos de proceso como etc (grabado), CVD (depósito químico de vapor), PVD (depósito físico de vapor), ALD (depósito de capa atómica), MOCVD (depósito químico de vapor orgánico metálico) en la fabricación de semiconductores, así como en campos como mpcvd (depósito químico de vapor ionizante como microondas), deshielo y secado, purificación de cuarzo y tratamiento de Residuos médicos.

质量流量控制器

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