El controlador de flujo de masa metano de la serie P se puede aplicar tanto a los procesos de sección delantera de semiconductores, como etc, pvd, ald, mocvd, IMP y otros equipos, como a la energía fotovoltaica, recubrimiento al vacío y otros campos con un mercado considerable. $r $nmfc puede proporcionar efectivamente una mayor tasa de rendimiento a través de un control preciso del flujo de gas.
Controlador de flujo de masaSerie pmfc P
Serie P FCControlador de flujo de masaEs un equipo con alto rendimiento y fiabilidad en el campo del control del flujo de gas. A continuación se presentan algunas de sus características y aplicaciones:Adoptar una válvula única mejorada + diferencia de presión + sensor de posición para diseñar la precisión de medición. En% s.p.(��% - ���% F.S.)Velocidad de respuesta ≤ ms(��% - ���% F.S.).
Control de alta precisión: el uso de tecnología avanzada de detección y algoritmos de control puede lograr un control de flujo de masa de gas de alta precisión, que puede controlar el error de medición a un nivel bajo y satisfacer diversas necesidades de proceso que requieren una alta precisión de flujo.2.
Respuesta rápida: Tiene un tiempo de respuesta más corto, puede responder rápidamente a los cambios en el valor de configuración del flujo, ajustar rápidamente el flujo de gas y garantizar la estabilidad y consistencia del proceso.2.
Amplio rango: amplia cobertura del rango, se puede aplicar a diferentes escenarios de aplicación, desde pequeños flujos hasta grandes flujos, y puede cumplir con los diferentes requisitos de varios procesos para el tamaño del flujo de gas.2.
Compatibilidad multigaseosa: una variedad de bases de datos de gas incorporadas, que admiten una variedad de tipos diferentes de gas, sin configuración manual compleja y conversión, pueden cambiar fácilmente diferentes gases para el control de flujo2.
Buena adaptabilidad ambiental: con materiales y diseños de alta calidad, tiene una buena resistencia a la corrosión y resistencia a las interferencias, puede trabajar de manera estable en diferentes condiciones ambientales y adaptarse a una variedad de entornos industriales.2.
Operación y comunicación convenientes: está equipado con una interfaz de operación intuitiva para facilitar a los usuarios la configuración y monitoreo de parámetros, al tiempo que admite una variedad de protocolos de comunicación, que se pueden integrar fácilmente con el ordenador superior u otros sistemas de control para lograr la operación remota y el control automatizado.
Fabricación de semiconductores: en los procesos de semiconductores, como el grabado, la deposición química de vapor (cvd), la deposición física de vapor (pvd), etc., el control preciso del flujo de varios gases de proceso es crucial para garantizar la calidad y consistencia de la fabricación de chips. Por ejemplo, en el proceso de grabado, el flujo de gases de grabado como el Tetrafluoruro de carbono y el hexafluoruro de azufre se controla con precisión para garantizar que la reacción de grabado se lleve a cabo a la velocidad y dirección predeterminadas; En el proceso de cvd, el flujo de gases de reacción como Silano y amoníaco se controla con precisión para garantizar que la composición química, el espesor y la calidad de las películas depositadas cumplan con los estándares.
Biomedicina: en los campos de la investigación y el desarrollo de medicamentos y la fermentación biológica, se utiliza para controlar con precisión el flujo de varios gases, como controlar la proporción de suministro de oxígeno, dióxido de carbono y otros gases durante el cultivo celular, para crear un entorno adecuado para el crecimiento celular; En la producción de medicamentos, la adición precisa de gases reactivos traza también requiere metano de alta precisión para lograrlo.
Producción química: en los procesos de síntesis química y química fina, se utiliza para controlar el flujo de varios gases de reacción y gases de materia prima para garantizar el progreso sin problemas de las reacciones químicas y la estabilidad de la calidad del producto. Por ejemplo, en algunas reacciones de síntesis orgánica, el flujo de gases como hidrógeno y nitrógeno se controla con precisión para regular la velocidad y selectividad de la reacción.
Nueva energía: en el campo de las nuevas fuentes de energía, como la producción y el proceso de prueba de pilas de combustible, es necesario controlar con precisión el flujo de hidrógeno, oxígeno y otros gases para garantizar el rendimiento y la estabilidad de las pilas de combustible; En el proceso de fabricación de células solares, también se utilizarán metano para controlar el flujo de gas de proceso relacionado.
