Nordson sonoscan aw300 microscopía de escaneo ultrasónico
[introducción del producto]
AWTMLa serie de productos está especialmente diseñada para sistemas totalmente automáticos para la detección de obleas. Adecuado para la detección y análisis de una variedad de obleas de Unión (soi, microelectromes, led, 2.5d y 3d), tiene una sensibilidad y capacidad extremadamente altas. La serie AW puede detectar agujeros de menos de 5 micras de diámetro entre dos chips y una capa de desprendimiento tan delgada como 200 Angstroms entre chips. AW tiene dos o más cabezales de escaneo, una mesa de trabajo de amortiguación y una cámara de secado. Puede escanear dos obleas al mismo tiempo y secar las obleas que completan el escaneo al mismo tiempo, aumentando así la capacidad de producción.
[características principales);
·Quantitative Dynamic ZTMFunción Z dinámica cuantitativa - mantener el foco en las obleas irregulares
· estándar de 300 mm con secs - II / gem / semiCompatibilidad
· detección totalmente automática de obleas de 100 mm a 300 mm
· La sonda de cascada ofrece escaneo sin inmersión
· función de análisis de imágenes líder en la industria
· interfaz estándar bolts para foups, smif pod, fosb y cajas de cristal abiertas
· componentes de autoabastecimiento y vacío (opción)