Plataforma de evaporación de la serie ulvac eI - 5z

NegociableActualización en03/19

modelo

Naturaleza del fabricante: Productores

Categoría de producto

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Descripción general

Principales parámetros técnicos:

Detalles del producto

Perfil del producto:

ULVAC ei-5zLa serie de equipos de recubrimiento por evaporación de alto vacío es una plataforma de evaporación multifuncional que puede instalar tanto la evaporación de haz de electrones como la fuente de vapor térmico. se puede utilizar para varios recubrimientos de evaporación metálicos, de aleación y no metálicos. se puede utilizar como un proceso de evaporación de incidencia vertical. se puede hacer un diseño de pared. adopta un control totalmente automático, estable y eficiente.

Principales parámetros técnicos:

· adecuado para sustratos de si, gaas, vitrocerámica y otras formas de 2 - 8 pulgadas;

· con una bomba de baja altitud, se puede alcanzar 3,0 * 10 en 20 minutos^-4Pa， La presión límite puede alcanzar3,0 * 10^-5Pa o menosV;

· fuente de haz de electrones o vapor caliente, compartida con deflectores;

· la uniformidad del espesor de la película es mejor que ± 5%;

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